無塵室潔凈等級有哪些—無塵室各種潔凈級別的介紹
無塵室又稱潔凈室,是指一個具有低污染水平的環境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個無塵室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用較大顆粒大小來厘定的。別的凈室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰塵。
無塵的定義為:將空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為凈室。無塵室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、和醫院內的手術室等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。
無塵室潔凈等級有哪些—無塵室各種潔凈級別的介紹
美國標準:
級別 | 0.1 μm | 0.2 μm | 0.3 μm | 0.5 μm | 1 μm | 5 μm |
1 | 35 | 7 | 3 | 1 |  ; |  ; |
10 | 350 | 75 | 30 | 10 | 1 |  ; |
100 | 3500 | 750 | 300 | 100 | 10 | 1 |
1,000 |  ; |  ; |  ; | 1,000 | 100 | 7 |
10,000 |  ; |  ; |  ; | 10,000 | 1,000 | 100 |
100,000 |  ; |  ; |  ; | 100,000 | 10,000 | 1,000 |
ISO 14644-1標準:
級別 | 0.1 μm | 0.2 μm | 0.3 μm | 0.5 μm | 1 μm | 5 μm |
ISO 1 | 10 | 2 |  ; |  ; |  ; |  ; |
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 |  ; |  ; |
ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 |  ; |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 |  ; |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO 7 |  ; |  ; |  ; | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
ISO 8 |  ; |  ; |  ; | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
ISO 9 |  ; |  ; |  ; | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
無塵室標準比較表:
ISO 14644-1 | 美國每立方呎顆粒數 |
ISO 3 | 1 |
ISO 4 | 10 |
ISO 5 | 100 |
ISO 6 | 1,000 |
ISO 7 | 10,000 |
ISO 8 | 100,000 |