現在半導體工廠對生產環境的清潔度特別批判，對空氣過濾器的要(yao)(yao)求(qiu)也越來越嚴格，在半(ban)(ban)導體工(gong)廠，半(ban)(ban)導體工(gong)廠對(dui)空氣過(guo)濾(lv)器(qi)起著特別重要(yao)(yao)的作用，是必(bi)不可少的。讓我(wo)們一起來理(li)解(jie)一下。

空氣中海(hai)鹽顆(ke)粒(li)是所有電(dian)子工業的大敵(di)，但(dan)空氣中海(hai)鹽粉塵顆(ke)粒(li)較大，普通過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)可(ke)以過(guo)濾(lv)(lv)。據說(shuo)從事電(dian)子工業的理想場所應該遠離(li)海(hai)岸(an)，但(dan)是沿海(hai)地(di)區經濟發達，芯(xin)片(pian)工廠(chang)像蜂一樣建在沿海(hai)地(di)區，在過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)上(shang)花更多(duo)的錢。

活性炭過濾器的(de)(de)過(guo)濾等級技術使潔凈室的(de)(de)粉塵濃度幾乎為零，想要(yao)更干凈。芯片線寬(kuan)小(xiao)到0.5mm時，發現空(kong)氣(qi)中的(de)(de)化學(xue)污(wu)染物成為影響成品率的(de)(de)主要(yao)危害，因此在線寬(kuan)小(xiao)于0.5mm的(de)(de)芯片工(gong)廠(chang)空(kong)調(diao)系統中普遍配置了精密空(kong)氣(qi)過(guo)濾器(qi)。精密空(kong)氣(qi)過(guo)濾器(qi)的(de)(de)原理和制造(zao)技術并不(bu)復雜。那是活(huo)性(xing)炭(tan)過(guo)濾器(qi)，但傳統的(de)(de)活(huo)性(xing)炭(tan)過(guo)濾器(qi)制造(zao)商和軍(jun)需工(gong)廠(chang)沒有乘坐(zuo)芯片工(gong)廠(chang)的(de)(de)巴士。芯片工(gong)廠(chang)深圳活(huo)性(xing)炭(tan)過(guo)濾器(qi)大多由(you)空(kong)調(diao)過(guo)濾器(qi)制造(zao)商提供(gong)。

化(hua)學(xue)(xue)(xue)(xue)污(wu)染物(wu)的(de)(de)(de)(de)(de)來源可(ke)能(neng)是(shi)：室(shi)(shi)外空氣(qi)、工藝(yi)本身、人、裝修材料(liao)(liao)。大多(duo)(duo)數情況下，設計師和現場(chang)工作人員不(bu)能(neng)說(shuo)清(qing)污(wu)染物(wu)的(de)(de)(de)(de)(de)種(zhong)類和濃度(du)，因此提(ti)供(gong)的(de)(de)(de)(de)(de)化(hua)學(xue)(xue)(xue)(xue)過(guo)濾器至少(shao)應(ying)具有(you)廣譜(pu)吸附(fu)性能(neng)、足夠多(duo)(duo)的(de)(de)(de)(de)(de)活性炭材料(liao)(liao)兩個特點。廣譜(pu)吸附(fu)是(shi)指什么都能(neng)吸附(fu)，具有(you)這種(zhong)功能(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)是(shi)普通便宜(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)粒(li)子(zi)活性炭。如(ru)果(guo)能(neng)確定污(wu)染物(wu)的(de)(de)(de)(de)(de)種(zhong)類，可(ke)以(yi)(yi)對活性炭材料(liao)(liao)進行有(you)針對性的(de)(de)(de)(de)(de)化(hua)學(xue)(xue)(xue)(xue)處理，增(zeng)強(qiang)對特定污(wu)染物(wu)的(de)(de)(de)(de)(de)吸附(fu)能(neng)力。過(guo)濾器供(gong)應(ying)商(shang)有(you)時(shi)還要提(ti)供(gong)相(xiang)應(ying)的(de)(de)(de)(de)(de)現場(chang)檢測服務(wu)，以(yi)(yi)幫助(zhu)用(yong)戶確定反滲透過(guo)濾器的(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)情況，這就要求供(gong)應(ying)商(shang)中有(you)搞化(hua)學(xue)(xue)(xue)(xue)過(guo)濾的(de)(de)(de)(de)(de)有(you)經驗的(de)(de)(de)(de)(de)人，并與名氣(qi)大的(de)(de)(de)(de)(de)化(hua)學(xue)(xue)(xue)(xue)實(shi)驗室(shi)(shi)有(you)密切(qie)的(de)(de)(de)(de)(de)關(guan)系。

半導(dao)體工業并(bing)不是人們(men)普遍認(ren)為的(de)(de)“無煙工業”，也就是說它也是有環境問題(ti)的(de)(de)，稍不小心就會(hui)(hui)造成嚴重的(de)(de)化學(xue)污染。因此，為了(le)保(bao)險起見，半導(dao)體廠一般都會(hui)(hui)使(shi)用空氣過濾器。

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