在裝置風機過濾(lv)機組FFU超濾(lv)膜(mo)組系(xi)統時，模塊化生產體式格(ge)局是為經濟的計劃，具(ju)有很多長處。靈活性、系(xi)統改變的煩瑣性，運輸費用降(jiang)低、施工速度(du)加快、特定的專業(ye)工人、優化的效(xiao)勞軌范、受控的潔凈(jing)室生產、緊湊設計、總(zong)成本降(jiang)低、情況友好以及冷熱應(ying)用僅僅是個中(zhong)一個方(fang)面(mian)。

使用過濾單元FFU模塊化的優點是什么？

(1)根據現場情況容易擴大或(huo)縮小，不需要停止消(xiao)費大的(de)停止。隔(ge)離閥承諾在不干擾(rao)系統運行(xing)的(de)前提下(xia)添(tian)加(jia)或(huo)移除額外的(de)過濾單位。

(二)運用(yong) 這種“餅干(gan)模型”技術(shu)能夠(gou)大大削減施工時候。在半導體行業的(de)旺季，與找(zhao)到有(you)經(jing)驗的(de)當地工程公司做項目相比(bi)，訂購同一代碼有(you)庫(ku)存(cun)的(de)產品有(you)很多優勢。與傳統的(de)施工方法相比(bi)，從訂單到交貨可(ke)以節省一半的(de)時間(jian)。

(3)超過濾膜組的組裝者知道需求，知道如何做。因為組裝者能夠花更多的時候在生產上，而不是像在零丁設計頂用這些時候去解析圖紙，模塊化設計提高了產質量量。悉數管路由高純PVDF管道構成，而且悉數的焊接和組裝工作在1萬級潔凈室中完成。在受控前提下，高純組裝更輕易得以完成。膜組的單位高度限制在6“以下，便于出入潔凈室或在工廠移動作為芯片消費線用水滴的終端空氣過濾器。降(jiang)低(di)高度(du)的(de)另(ling)一(yi)個好處是(shi)確保閥門裝置符合(he)人體(ti)工學繩(sheng)尺(chi)，操作便當。

(4)設(she)(she)(she)計(ji)靈活，可(ke)裝置所需數量(liang)的過濾單位。另外，能夠(gou)在模塊中設(she)(she)(she)計(ji)額外容量(liang)，以便(bian)在改換空(kong)氣(qi)過濾器或維護時運用附加(jia)空(kong)氣(qi)過濾器，如(ru)許能夠(gou)適(shi)應一切流量(liang)前提。該(gai)冗馀設(she)(she)(she)計(ji)承諾設(she)(she)(she)備每(mei)天24小(xiao)時運行，特(te)別是(shi)在需求執行衛(wei)生對策軌道時，該(gai)設(she)(she)(she)計(ji)特(te)別有效。

(五)單位設計中思考比較好效勞才干，閥門位置適合而且高效空氣過濾器維護和(he)移除可輕(qing)松完成。例如(ru)，每個運(yun)用點都有交流(liu)設計(ji)，操作和(he)備件可以相同。這些“拷貝(bei)”的(de)設計(ji)答應交叉(cha)運(yun)用以及按需定(ding)制。

(6)FFU模塊化設計改善(shan)了施(shi)工質(zhi)量(liang)。基于(yu)這一概念(nian)，完全可以(yi)在(zai)控制(zhi)的潔凈室的前(qian)提下(xia)生(sheng)產和測試膜組系統，確保終產品的高純度功(gong)能。任何(he)與產量(liang)有關的問(wen)題都邑招致新技術的發生(sheng)，但將降低產量(liang)的不足同通俗干(gan)擾性不足區分隔隔離(li)分散來顯得尤(you)為首(shou)要，特(te)殊是在(zai)工藝抵達90nm后。在(zai)任何(he)管路系統裝置過程(cheng)中(zhong)導入的顆粒物就是降低產量(liang)的不足起(qi)原之一。

(7)由于超濾(lv)機組可以通過代(dai)碼(ma)從(cong)供應商那里訂(ding)購而(er)不是現場建設(she)，整體(ti)成(cheng)本降低了。而(er)且無需任何再加工。業主能夠估量(liang)一個特制單位(wei)的規范成(cheng)本，而(er)且與地點、當地勞(lao)動力代(dai)價、訂(ding)購單位(wei)數量(liang)、資料庫存量(liang)以及其(qi)他(ta)要素無關。

(8)由(you)于單位尺寸變小，起(qi)吊和運輸(shu)變得(de)麻煩(fan)，運輸(shu)成本大幅度降低。過濾器單位安(an)裝(zhuang)在筒中(zhong)運輸(shu)，確保施工時能夠正確地(di)與尾部對(dui)齊，并且在終組裝(zhuang)前中(zhong)止(zhi)低流量測試。

(九)建造(zao)一(yi)(yi)個芯(xin)片廠(chang)(chang)(chang)(chang)將會為(wei)情況帶入很多燒(shao)(shao)毀物(wu)，這些燒(shao)(shao)毀物(wu)終都需(xu)求(qiu)在情況中(zhong)消解(jie)。跟著“綠色思惟”壓(ya)力的(de)(de)(de)增(zeng)大，請求(qiu)工程(cheng)公司措置樹(shu)登(deng)時點的(de)(de)(de)燒(shao)(shao)毀物(wu)，芯(xin)片廠(chang)(chang)(chang)(chang)承擔了這一(yi)(yi)額外的(de)(de)(de)措置和措置費用(yong)。生產超過濾膜(mo)組系統可以在樹(shu)登(deng)時完成(cheng)無燒(shao)(shao)毀物(wu)，減(jian)少超過濾膜(mo)組廠(chang)(chang)(chang)(chang)家(jia)燒(shao)(shao)毀物(wu)的(de)(de)(de)發生量。也就是說，與芯(xin)片工廠(chang)(chang)(chang)(chang)不同，超過濾膜(mo)組的(de)(de)(de)制造(zao)商(shang)不需(xu)要訂購5米(mi)(mi)高純度(du)的(de)(de)(de)PVDF管，只需(xu)要3米(mi)(mi)。制造(zao)商(shang)可以在下一(yi)(yi)個訂單中(zhong)使用(yong)剩馀的(de)(de)(de)管材。

(10)該設(she)計合用(yong)于任何冷熱(re)純水系統(tong)的(de)應用(yong)。閥(fa)門的(de)正確選擇(ze)是滿足(zu)熱(re)系統(tong)操作限制的(de)關鍵。關于一(yi)連工作在(zai)50℃以上(shang)或溫度(du)(du)改變幅度(du)(du)達80℃的(de)系統(tong)，適合選擇(ze)HTR(耐高溫)閥(fa)門。HTR型閥(fa)門可對溫度(du)(du)輪回前提下常見(jian)的(de)閥(fa)體、膜片和(he)響應硬(ying)件之間(jian)的(de)熱(re)脹冷縮中止賠償。

(十一)設計中(zhong)單位之間更緊湊，投影面(mian)積更小，隨著芯片(pian)(pian)廠(chang)(chang)空間的確立成(cheng)本不(bu)時上升，這一點尤為重要(yao)。2002年，建設技術(shu)的芯片(pian)(pian)工廠(chang)(chang)成(cheng)本接近30億美(mei)(mei)(mei)元。今日，樹立一個芯片(pian)(pian)廠(chang)(chang)的成(cheng)本有(you)時會(hui)超越60億美(mei)(mei)(mei)圓，以至到2010年有(you)可能抵達100億美(mei)(mei)(mei)圓。系(xi)統(tong)的緊湊部分取(qu)決于零(ling)死區閥(ZSV)的運用。

實際上(shang)，采用(yong)(yong)模塊(kuai)(kuai)化(hua)(hua)的(de)(de)(de)體型結構，現場節(jie)約了數千(qian)美元。研究表(biao)(biao)明，當地承包(bao)商生(sheng)產(chan)(chan)的(de)(de)(de)3個單元膜(mo)組系(xi)統，成本是相似的(de)(de)(de)模塊(kuai)(kuai)化(hua)(hua)方(fang)(fang)法生(sheng)產(chan)(chan)的(de)(de)(de)3倍膜(mo)組系(xi)統，也表(biao)(biao)明模塊(kuai)(kuai)化(hua)(hua)生(sheng)產(chan)(chan)是經濟(ji)的(de)(de)(de)。基于這些數據，該(gai)公司(si)自從采用(yong)(yong)模塊(kuai)(kuai)化(hua)(hua)生(sheng)產(chan)(chan)超濾(lv)膜(mo)組系(xi)統以來(lai)總(zong)成本節(jie)約超越(yue)100萬美圓(yuan)。此(ci)數據還(huan)(huan)不包(bao)括省(sheng)卻(que)的(de)(de)(de)工程和設計費用(yong)(yong)以及降低的(de)(de)(de)操作和維護費用(yong)(yong)。除(chu)了節(jie)省(sheng)硬件方(fang)(fang)面(mian)，還(huan)(huan)有隱(yin)藏的(de)(de)(de)節(jie)省(sheng)。

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