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芯片廠對空氣過濾器有什么要求?

芯片廠對空氣過濾器有什么要求?

當今,半導體芯片廠對生產環境空(kong)氣潔凈程度挑剔,對空(kong)氣過(guo)濾(lv)器的要(yao)求也(ye)苛

刻。粘在芯片上的(de)粉塵可(ke)能(neng)造成斷(duan)路、短路而直接影(ying)響成品率(lv)。

芯片廠用的高效過濾器和(he)風機過濾單元(FFU)出廠(chang)前(qian)要(yao)經(jing)過掃描(miao)測(ce)試。芯片廠(chang)不認(ren)鈉(na)焰(yan)法(fa)和(he)DOP法(fa)的帳(zhang)。

芯片廠特別在意過(guo)濾(lv)器上(shang)可(ke)能的微量揮發元(yuan)素(su)近幾年出(chu)現了(le)聚四氟乙烯(xi)PTFE纖維高(gao)效(xiao)過(guo)濾(lv)材(cai)料(liao),這種材(cai)料(liao)沒有揮發物,但它帶靜(jing)電(dian),過(guo)濾(lv)后的空氣要進行電(dian)中和以消(xiao)除離子,少了(le)個(ge)隱患,多了(le)個(ge)麻煩。

但當芯片的(de)(de)(de)線(xian)寬(kuan)小(xiao)到(dao)0.5um時(shi),人們發(fa)現空(kong)氣中的(de)(de)(de)化學污染物成了(le)影響成品率(lv)的(de)(de)(de)主要(yao)危害,于是,后(hou)建(jian)的(de)(de)(de)芯廠空(kong)調系統中普(pu)遍配(pei)置了(le)化學過濾器(qi)。

空氣過(guo)濾器(qi)有(you)什么(me)要求” />;

芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器,它的(de)原理和制(zhi)造工藝并不復(fu)雜(za)。

許(xu)多(duo)情(qing)況下,設計師和(he)現場人員也說(shuo)不(bu)清污染(ran)物的種類(lei)和(he)濃度,因此(ci),芯片廠用的化學過濾器應(ying)具有兩個特點:廣譜(pu)吸附性能(neng)、足夠多(duo)的吸附材料(liao)。

如果能確(que)定(ding)污染物種(zhong)類,就可(ke)對吸附材料進行有針(zhen)對性的(de)化學處理,以增強對特定(ding)污染物的(de)吸附能力。

過(guo)濾器(qi)供應(ying)商(shang)有時還要(yao)提供相應(ying)的(de)現場檢測服務,以(yi)幫助用(yong)(yong)戶確定化學過(guo)濾器(qi)的(de)使用(yong)(yong)情況,這就要(yao)求供應(ying)商(shang)中有搞化學過(guo)濾的(de)專家,并與權威實驗室有密切(qie)的(de)關系。

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過濾器部(bu)分客戶(hu)案(an)例:貴(gui)州(zhou)茅臺,旺旺集(ji)團,三九藥業,京(jing)東方電子(zi),三星電子(zi)等。

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