ISO 14644-1 潔凈標準中文完整版（附PDF版下載）全文
歡迎閱讀標題為“ISO 14644-1 潔凈標準中文版完整（附PDF版下載）全文”的文章，該標準全名為“潔凈室和相關受控環境 – 第 1 部分：按顆粒濃度對空氣清潔度進行分類”。該文件主要討論了潔凈室和潔凈區空氣清潔度的分類，測試和監測空氣清潔度的程序，以及ISO 14644中涉及污染控制各個方面的不同部分。下面是中文版的文本全文！如需要下載PDF版的請點我！
國際的 標準
ISO
14644-1
第二版 2015-12-15
潔(jie)凈室和相關(guan)的受控環境
第1部分：
按粒(li)子濃度(du)劃分空氣潔凈度(du)等級
潔凈室和相關(guan)受控環境
第］部分:顆粒空氣潔凈度分級
參考編號
ISO 14644-l:2015(E)
?國際標準(zhun)化組織2015
ISO 1464牛 l:2015(E)
受版權保護的文件
? I SO 2015，瑞士出版。保(bao)留所(suo)有(you)權利(li)。除非
另有規定(ding)，否(fou)則未(wei)經(jing)事先書面許(xu)可(ke)，不(bu)得以(yi)任(ren)(ren)何(he)形式或(huo)通(tong)過任(ren)(ren)何(he)電子或(huo)機械方(fang)式復制(zhi)或(huo)使(shi)用(yong)本(ben)出(chu)版物的任(ren)(ren)何(he)部(bu)分，包括影(ying)印或(huo)在(zai)互聯(lian)網(wang)或(huo)內聯(lian)網(wang)上發 布。可(ke)以(yi)通(tong)過以(yi)下(xia)地址(zhi)向ISO或(huo)請(qing)求(qiu)者所在(zai)國家(jia)/地區(qu)的ISO成員機構請(qing)求(qiu)許(xu)可(ke)。
ISO版權辦公室Ch.
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? ISO 2015 -版權所有本文件(jian)由
內容
前言 iv
介紹 v
八 范圍
2個 規范性引用
術語和(he)定義 13.1M
述 13.2空(kong)氣中的顆(ke)粒(li)
物 2 3.3占(zhan)用狀
態 3 3.4測(ce)試儀(yi)器（見附錄
F） ； ；3 3.5儀器規(gui)
格 4
分類 44.1占瞅
態 4 4.2顆粒尺(chi)
寸 4 4.3 ISO等級(ji)編
號 4名
5.1原理.
試 6 5.3空氣懸浮粒子(zi)濃度評
估 6 5.4測試報
告(gao) 6附斟（規范(fan)性附錄）空氣潔凈度分(fen)級參
考方法
?8附錄(lu)B （資料性附錄(lu)）分類計算
附錄(lu)E （資料性附錄(lu)）中(zhong)間十(shi)進位清潔度等級和規范
粒度閾值 34附(fu)錄F （資料性附(fu)錄）測試儀
器 36參考書
目 37
ISO 14644-l:2015（E）
前言
ISO （國(guo)際標(biao)準化組織(zhi)）是各國(guo)標(biao)準機構（ISO成員(yuan)(yuan)機構）的(de)全球聯合會(hui)(hui)。國(guo)際標(biao)準的(de)制(zhi)定工(gong)作通(tong)常通(tong)過(guo)ISO技(ji)術(shu)委(wei)員(yuan)(yuan)會(hui)(hui)進行。每個對已(yi)設立(li)技(ji)術(shu)委(wei)員(yuan)(yuan) 會(hui)(hui)的(de)主題感興趣的(de)成員(yuan)(yuan)團體都有權派(pai)代表(biao)參加(jia)該委(wei)員(yuan)(yuan)會(hui)(hui)。與(yu)ISO聯絡的(de)國(guo)際組織(zhi)、政府和非政府組織(zhi)也參與(yu)了這項(xiang)工(gong)作。
ISO與國際(ji)電(dian)工委員(yuan)會（IEC）在電(dian)工標(biao)準化的(de)所有事務上密切合作(zuo)。
在ISO/IEC指令(ling)第1咅(pou)盼(pan)中描(miao)述(shu)了用(yong)于制定本文件的(de)程序以及用(yong)于進一步維護的(de)程序。尤其應注(zhu)意不同(tong)類型的(de)ISO文件所需的(de)不同(tong) 批(pi)準標準。本文件是根據ISO/IEC指令(ling)第2部(bu)分的(de)編輯規則起(qi)草的(de)（參見(jian)www.iso.org/directives）。
請(qing)注意本文(wen)檔(dang)的(de)(de)(de)某些元(yuan)素可能是(shi)專禾亦又的(de)(de)(de)主題。ISO不負責識另(ling)M壬何或(huo)所(suo)有此類專禾椒。在文(wen)檔(dang)開發(fa)過程中(zhong)(zhong)確定(ding)的(de)(de)(de)任何專利權的(de)(de)(de)詳(xiang) 細(xi)信息(xi)將在簡介和/或(huo)收到的(de)(de)(de)ISO專利聲(sheng)明列表中(zhong)(zhong)（參見www.iso.org/patents）。
本文檔中(zhong)使(shi)用的任(ren)何商(shang)品名稱都是為方便(bian)用戶而(er)提供的信息，并不(bu)構成對其的認可。
有關ISO與合(he)格評定相關的(de)特定術語(yu)和(he)表達含(han)義的(de)解釋，以及有關ISO在技(ji)術規范中遵守WT0原則的(de)信息
貿(mao)易壁壘（TBT）請參閱以下URL ：前言-補充信息
負(fu)責(ze)本文件的委員會是 ISO/TC 209， Cleanrooms and associated controlled 環境。
第二版(ban)取消并取代了(le)第—版(ban)（ISO 14644-1:1999）后者在(zai)整個技術上進行(xing)了(le)修訂。
ISO 14644由以(yi)下部分組成，總標題為潔凈室和相關受(shou)控(kong)
環境：
第(di)1部分(fen):f安顆粒(li)濃度對空(kong)氣潔凈度進行(xing)分(fen)類
第2部分:監測以提(ti)供與顆粒空氣潔(jie)凈(jing)度相關的潔(jie)凈(jing)室(shi)性能的證據
專注
第3部分:試驗方法
第4部分:設計、建造和啟動
第5部分:操作
第了部分:隔(ge)離裝(zhuang)置（潔凈(jing)空氣罩、手套箱、隔(ge)離器和微環境）
第(di)8部(bu)分:按(an)化學物(wu)質濃(nong)度(du)（ACC）劃分的空氣潔凈度(du)分類
第9部分按顆粒濃度分類表面(mian)清潔度
第10部分(fen):按化學濃度(du)分(fen)類的表面(mian)清(qing)潔度(du)
還提(ti)請注意ISO 14698、潔(jie)凈室和相關的受控環(huan)境
生物污染控制：
第(di)1部(bu)分:一般原則和方法
第2部分:生物污染數據(ju)的(de)評估和解(jie)釋(shi)
潔凈室和相關(guan)的受控環境用于控制空氣(qi)污染，并在適(shi)當時控制表面(mian)污染，使其達到適(shi)合完(wan)成污染敏感活動(dong)的水(shui)平。
污染控制有(you)利(li)于保護航(hang)空航(hang)天、微電子、制藥、醫(yi)療設(she)備、醫(yi)療保健和(he)食品等(deng)行(xing)業應用(yong)中的產品或過(guo)程(cheng)完整性。
ISO 14644的(de)這一部分根據以空氣體積中的(de)濃度表示的(de)顆粒(li)數(shu)量(liang)規定了空氣潔凈(jing)度等(deng)級。它還規定了確定清(qing)潔等(deng)級的(de)標準測 試方法，包(bao)括采樣位置的(de)選擇(ze)。
此版(ban)本是(shi)對ISO系統審查的(de)回應的(de)結(jie)果，包(bao)括(kuo)對經國際(ji)調查驗證的(de)用戶和專家反饋的(de)回應所做的(de)更(geng)改(gai)。標題已(yi)修(xiu)改(gai)為“按顆(ke)粒 濃度對空氣清(qing)潔度進行(xing)分(fen)(fen)類”，以(yi)與(yu)ISO 14644的(de)其他部分(fen)(fen)保持一(yi)致。九個ISO清(qing)潔度等級保留(liu)并(bing)稍(shao)作修(xiu)改(gai)。表1定(ding)義(yi)了(le)九個 整(zheng)數類別(bie)在(zai)不同(tong)粒徑(jing)下的(de)顆(ke)粒濃度。表E.1定(ding)義(yi)了(le)中間級別(bie)在(zai)不同(tong)粒徑(jing)下的(de)較大顆(ke)粒濃度。使用這些表格可確保更(geng)好地定(ding)義(yi)不 同(tong)類別(bie)的(de)適當粒徑(jing)范圍。ISO 14644的(de)這一(yi)部分(fen)(fen)保留(liu)了(le)大粒子描述符的(de)概(gai)念撚而，納米級顆(ke)粒（以(yi)前定(ding)義(yi)為超細顆(ke)粒）的(de)考 慮將在(zai)單獨的(de)標準中解決。
顯(xian)著的(de)(de)變化是(shi)采用(yong)更一(yi)致的(de)(de)統(tong)計方法來(lai)選擇和抽(chou)樣地點的(de)(de)數量；以及對收(shou)集到的(de)(de)數據的(de)(de)評(ping)估(gu)。統(tong)計模型(xing)基于(yu)超幾何抽(chou)樣模型(xing) 技術的(de)(de)改編，其中(zhong)樣本是(shi)隨機抽(chou)取(qu)的(de)(de)，無(wu)需從(cong)有限總體中(zhong)進行替(ti)換(huan)。新方法允許以至少95%的(de)(de)置(zhi)信度獨(du)立(li)處理每個位置(zhi)，即至 少90%的(de)(de)潔(jie)凈室或潔(jie)凈區區域將符合目標空氣潔(jie)凈度等(deng)級(ji)的(de)(de)較大顆粒(li)濃度限制(zhi)。
未對潔凈(jing)室或(huo)(huo)潔凈(jing)區(qu)內(nei)的(de)(de)(de)(de)(de)實際顆粒(li)數(shu)(shu)分(fen)(fen)布做出(chu)任何假(jia)(jia)設(she)；而在ISO 14644-1:1999中(zhong)，一個基本假(jia)(jia)設(she)是粒(li)子數(shu)(shu)在整個房(fang)間內(nei)遵 循相同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)正態分(fen)(fen)布，該假(jia)(jia)設(she)現在已被(bei)放(fang)棄，以允許在粒(li)子數(shu)(shu)以更復雜的(de)(de)(de)(de)(de)方式變化的(de)(de)(de)(de)(de)房(fang)間中(zhong)使(shi)用(yong)(yong)采(cai)樣(yang).在修訂過(guo)程中(zhong)，人們認識到 95% UCL既不合適也(ye)沒有(you)(you)在ISO1464牛1:1999中(zhong)得(de)到一致應(ying)用(yong)(yong)。與ISO 14644-1:1999相比，所需采(cai)樣(yang)點(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)少(shao)數(shu)(shu)量(liang)(liang)已更 改。提(ti)供了一個參考表(biao)(biao)，即表(biao)(biao)A.1，以根據采(cai)樣(yang)模型技術的(de)(de)(de)(de)(de)實際調整來(lai)定(ding)義(yi)所需的(de)(de)(de)(de)(de)少(shao)采(cai)樣(yang)位置數(shu)(shu)。假(jia)(jia)設(she)緊(jin)鄰(lin)每個采(cai)樣(yang)位置的(de)(de)(de)(de)(de)區(qu) 域具有(you)(you)均勻的(de)(de)(de)(de)(de)粒(li)子濃度。潔凈(jing)室或(huo)(huo)潔凈(jing)區(qu)區(qu)域被(bei)劃分(fen)(fen)為(wei)面積(ji)接近相等(deng)的(de)(de)(de)(de)(de)部分(fen)(fen)網格，其數(shu)(shu)量(liang)(liang)等(deng)于表(biao)(biao)A.1中(zhong)得(de)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)采(cai)樣(yang)點(dian)數(shu)(shu)量(liang)(liang)。采(cai) 樣(yang)位置放(fang)置在每個網格部分(fen)(fen)內(nei)，以代(dai)表(biao)(biao)該網格部分(fen)(fen)。
出于(yu)實(shi)際目的，假定這些位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)是有代表(biao)性地選(xuan)擇的；“代表(biao)性”位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)（見A.4.2）是指(zhi)在選(xuan)擇采(cai)(cai)樣(yang)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)時應考慮潔凈(jing)室或潔凈(jing) 區布(bu)局、設備(bei)布(bu)置(zhi)(zhi)和気流系統(tong)等特征。額外的采(cai)(cai)樣(yang)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)可以添加(jia)到(dao)小數量的采(cai)(cai)樣(yang)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)。
對附(fu)件進行了重(zhong)新排(pai)序以改進ISO 14644這部分的(de)(de)邏輯，并且(qie)某些附(fu)件中有關測(ce)試和測(ce)試儀器的(de)(de)部分內容已包(bao)含(han)在
ISO 14644-3:2005。
ISO 14644這部分的修訂版通過適應大顆粒概念解決了歐盟、PIC/S和WHO GMP無菌產品(pin)附件中ISO 5級(ji)》5 ym的顆 粒限制。
ISO 14644這(zhe)部(bu)分的修(xiu)訂版(ban)現在包(bao)括(kuo)與按顆粒濃度(du)對空(kong)氣潔凈度(du)分類相(xiang)關的所有(you)事項。ISO 14644-2:2015的修(xiu)訂版(ban)現在 專(zhuan)門處理(li)通過顆粒濃度(du)監測空(kong)氣清潔度(du)。
除了通過(guo)顆粒濃度對空(kong)氣(qi)(qi)潔凈度進行分類之外(wai)，潔凈室還可以通過(guo)屬(shu)性來表征。其(qi)他屬(shu)性，例如化(hua)學(xue)濃度方面的(de)空(kong)氣(qi)(qi)清(qing)潔度，可 能
ISO 14644-l:2015(E)
進(jin)(jin)行監控，并且可以(yi)(yi)(yi)指定屬性的(de)等(deng)級或級別以(yi)(yi)(yi)及ISO清潔等(deng)級的(de)分類。這些(xie)附(fu)加屬性不足以(yi)(yi)(yi)單獨對潔凈(jing)室或潔凈(jing)區(qu)進(jin)(jin)行分類。
? ISO 2015 -版權所(suo)有本文件由
潔(jie)凈室和相關(guan)的受控環境(jing)
第1部分：
按粒子濃度劃分空(kong)氣潔凈度等級
1適用范圍
ISO 14644的(de)(de)這(zhe)一部分(fen)根據潔(jie)凈室(shi)和潔(jie)凈區中(zhong)空(kong)氣中(zhong)顆粒(li)物的(de)(de)濃度(du)規定了空(kong)氣潔(jie)凈度(du)的(de)(de)分(fen)類；和ISO 1464牛7中(zhong)定義的(de)(de)分(fen)離 設(she)備。
只有具有基于閾值（下限）粒徑范圍(wei)從(cong)0.1 nm到(dao)5 nm的(de)累積分布的(de)顆粒群(qun)才被考(kao)慮(lv)用于分類目的(de)。
使用光散(san)射（離散(san)）氣(qi)載粒子(zi)計數(shu)器（LSAPC）是(shi)確定(ding)指定(ding)采(cai)樣點處等于和大于指定(ding)尺寸的(de)氣(qi)載粒子(zi)濃度(du)的(de)基(ji)礎。
ISO 14644的(de)(de)(de)(de)(de)這一(yi)部分不(bu)對超(chao)出規定的(de)(de)(de)(de)(de)下(xia)限粒(li)度(du)范圍（0.1 um至5 um）的(de)(de)(de)(de)(de)粒(li)子群進行分類(lei)。超(chao)細顆(ke)粒(li)（小于0.1 nm的(de)(de)(de)(de)(de)顆(ke) 粒(li)）的(de)(de)(de)(de)(de)濃(nong)度(du)將(jiang)在單獨的(de)(de)(de)(de)(de)標準中說明，以指定納米級顆(ke)粒(li)的(de)(de)(de)(de)(de)空氣清潔度(du)。M描述符（見附錄C）可用于量化(hua)大(da)粒(li)子（大(da)于5nm 的(de)(de)(de)(de)(de)粒(li)子）的(de)(de)(de)(de)(de)數量。
ISO 14644的這一部分(fen)不(bu)能用于表征空(kong)氣中顆粒(li)的物理、化學、放(fang)射學、活性或其他性質。
2規范性引用文件
下列文(wen)件(jian)(jian)的全部或(huo)部分在本(ben)文(wen)件(jian)(jian)中規范性地引(yin)(yin)用(yong)(yong)(yong)并且對(dui)于本(ben)文(wen)件(jian)(jian)的應用(yong)(yong)(yong)是必不(bu)可少的。對(dui)于注(zhu)明日期的參考文(wen)獻，僅(jin)引(yin)(yin)用(yong)(yong)(yong)的版 本(ben)適用(yong)(yong)(yong)。對(dui)于未注(zhu)明日期的引(yin)(yin)用(yong)(yong)(yong)，適用(yong)(yong)(yong)引(yin)(yin)用(yong)(yong)(yong)文(wen)件(jian)(jian)的新版本(ben)（包括任何彳(chi)彥訂(ding)）。
ISO 14644-2:2015，潔凈室和相關的(de)受控環境 第(di)2咅盼(pan):監(jian)測(ce)以提供與(yu)顆(ke)粒濃度(du)(du)相關的(de)空氣潔凈度(du)(du)相關的(de)潔凈室性能證據
ISO 1464牛7，潔凈室和(he)相關受控環(huan)境 第7部分(fen)(fen):分(fen)(fen)離裝(zhuang)置（潔凈空氣罩(zhao)、手套(tao)箱(xiang)、隔離器(qi)和(he)微型(xing)環(huan)境）
3術語和定義
出于本(ben)文(wen)檔(dang)的(de)目(mu)的(de)，以下術語和定義適用。
3.1總則
3.1.1
潔凈室
cleanroom控(kong)制(zhi)和分類空氣中(zhong)顆(ke)粒物(wu)數量濃度的(de)房間，其設計、建造和運行(xing)方(fang)式可控(kong)制(zhi)室(shi)內(nei)顆(ke)粒物(wu)的(de)引(yin)入、產生和滯留
條(tiao)目注1：規定(ding)了(le)空(kong)氣中(zhong)顆粒物濃(nong)度的等級。
ISO 14644-l:2015(E)
條目注(zhu)2 :其(qi)他清(qing)潔度(du)(du)屬(shu)性的(de)水平，例如空氣中的(de)化學、活(huo)(huo)性或納米級濃(nong)度(du)(du)，以(yi)及顆粒、納米級、化學和活(huo)(huo)性濃(nong)度(du)(du)方(fang)面(mian)的(de)表面(mian)清(qing)潔 度(du)(du)，也可(ke)能被指定和控制。
注3 :其他相關(guan)的物理(li)參(can)數(shu)也可以根據需要進行控制，例如溫度(du)、濕(shi)度(du)、壓力、振動和(he)靜電。
3.1.2
清潔區定義的
空間，其中(zhong)空氣懸浮顆(ke)粒(li)的(de)數量濃度受到(dao)控制和(he)分(fen)類(lei)，其建造和(he)運營方式可(ke)控制空間內污染物的(de)引入、產生利呆留
條目注1：規(gui)定了空氣中顆粒物濃(nong)度的等級。
注2 :其他(ta)清(qing)(qing)潔度(du)屬(shu)性(xing)的水(shui)平，例如空(kong)氣中的化(hua)學(xue)(xue)、活性(xing)或納米級(ji)濃度(du)，以及顆(ke)粒、納米級(ji)、化(hua)學(xue)(xue)和(he)(he)活性(xing)濃度(du)方面的表面清(qing)(qing)潔度(du)，也(ye) 可能(neng)被指定(ding)和(he)(he)控制。
條目(mu)注(zhu)3:潔凈區可(ke)(ke)以是潔凈室內(nei)定義的(de)空間，也可(ke)(ke)以通過分(fen)離裝(zhuang)置實現。這種設備可(ke)(ke)以位于潔凈室的(de)內(nei)部或外部。
注4 :其他相關的物理參數也(ye)可以(yi)根據需要進行控制，例如溫度(du)、濕度(du)、壓力(li)、振(zhen)動和(he)靜電。
3.1.3
安裝潔凈室或
—個或多個潔凈區，連同所有相關結構(gou)、空氣處(chu)理系統、服務和公用(yong)設(she)施
3.1.4
根據潔凈室或潔
凈(jing)區規范(fan)評定潔凈(jing)度等級的分級方(fang)法
條目(mu)注(zhu)1：級(ji)別(bie)應(ying)以ISO等級(ji)表示，它表示單(dan)位體積空氣中顆粒(li)的較(jiao)大允許濃度。
3.2空氣中的顆(ke)粒物
3.2.1
粒子具有 明確(que)廟理邊界的微小物質
3.2.2
粒度 particle
size球體的直徑(jing)，通過給(gei)定的粒度(du)儀，其產生(sheng)的響應與被測顆粒產生(sheng)的響應相同
注1：對于(yu)離散粒(li)子光散射儀(yi)器，使用等效光學(xue)直(zhi)徑。
3.2.3
粒(li)子濃度particle
concentration單(dan)位體積空氣中(zhong)單(dan)個粒(li)子的數量
3.2.4
particle size distribution粒子
濃度作為粒子大小函(han)數的累積分布
3.2.5
大粒子
macroparticle當量直徑(jing)大于5 |_im的粒子
3.2.6
M描述符指定每
立方米空(kong)氣(qi)中大顆(ke)粒(li)的測量(liang)或(huo)規(gui)定濃度，以所用測量(liang)方法(fa)的特(te)征當量(liang)直徑表示(shi)
注1 ：M描述符可被視(shi)為(wei)采樣位(wei)置平均值的上限。
M描述(shu)符(fu)不能用(yong)于定義ISO類，但M描述(shu)符(fu)可以(yi)單獨引(yin)用(yong)或與(yu)ISO類一(yi)起(qi)引(yin)用(yong)。
3.2.7
單向氣流 unidirectional
airflow以穩定的速度通過潔凈室或潔凈區整個橫截面的受控氣流，氣流被認為是(shi)平行的。
3.2.8
non-undirectional airflow air distribution進入潔(jie)凈室或潔(jie)凈區的送(song)風(feng)通(tong)過(guo)感應方式與內部空氣(qi)混合。
3.3占用狀態
3.3.1
潔凈室或
潔凈區已(yi)完成，所(suo)有(you)服務已(yi)連接并正常運行但沒有(you)設備、家(jia)具、材料或人員在場的(de)竣工(gong)狀態
3.3.2
靜止狀
態潔(jie)凈室或潔(jie)凈區已完成設備安(an)裝(zhuang)并(bing)按商定的方式運行(xing)，但沒有人員(yuan)在場
3.3.3
潔凈室或潔凈
區以規定(ding)方(fang)式運行(xing)、設備(bei)運行(xing)和規定(ding)人數在場的操作約(yue)定(ding)條件
3.4測(ce)試(shi)儀器（見(jian)附(fu)錄F）
3.4.1
分辨率
resolution^起相應示值可(ke)察覺變化(hua)的被測量(liang)的小變化(hua)
條目注(zhu)1 :分辨(bian)率可(ke)能取決于(yu)，例(li)如臊(sao)聲（內部或外部減摩擦。它還可(ke)能取決于(yu)被(bei)測數量的值。
[來源 JSO/IEC 指(zhi)南 99:2007，4.14]
3.4.2
較大允許測(ce)量誤差(cha) maximum permissible
measurement error相(xiang)對于已知參考量(liang)(liang)值的(de)測(ce)量(liang)(liang)誤(wu)差(cha)(cha)的(de)極(ji)值，由給定測(ce)量(liang)(liang)、測(ce)量(liang)(liang)儀器或測(ce)量(liang)(liang)系統的(de)規范或規定允(yun)許(xu) 注1：通常，術語“較大(da)允(yun)許(xu)誤(wu)差(cha)(cha)”或“誤(wu)差(cha)(cha)極(ji)限”用于存在兩個極(ji)值的(de)地方。
注2：術語“公差”不(bu)應用于(yu)表示“較大允許(xu)誤差”。
[來源 JSO/IEC 指南(nan) 99:2007，4.26]
ISO 14644-l:2015（E）
3.5儀器規格
3.5.1
LSAPC
light scattering airborne particle counter 光散射離
散空氣(qi)傳(chuan)播粒(li)子計數器儀(yi)器，能(neng)夠對單個(ge)空氣(qi)傳(chuan)播粒(li)子進行計數和
大小(xiao)測量，并(bing)根據等效(xiao)光學直徑報告(gao)大小(xiao)數據
注1：LSAPC的規范(fan)在ISO 21501-4:2007中(zhong)給出(chu)。
3.5.2
discrete-macroparticle counter
instru ment能(neng)夠對單個空氣傳播(bo)的大顆粒進行計數和分級的儀器
注］:規范見(jian)表(biao)F. 1 o
3.5.3
飛(fei)行時間粒度儀discrete-particle counting and
sizeing apparatus通過測量顆粒(li)適應(ying)空(kong)氣速度(du)變化的(de)時間來確定顆粒(li)的(de)空(kong)氣動力學直徑
條目(mu)注1 :這通常是(shi)通過測量流(liu)體速度(du)變化后的光學粒子渡越(yue)時間(jian)來完成的。
注2：規范見(jian)表F.2。
4分類
4.1占用狀態
潔凈(jing)室或(huo)潔凈(jing)區空氣顆粒濃度的(de)空氣潔凈(jing)度等級(ji)應在三種占用狀態中的(de)一種或(huo)多種中定義，即。“竣工(gong)”、“靜(jing)止”或(huo)“運(yun)行(xing)”（見(jian)
3.3） □ 一
4.2粒徑
一個或多個位于＞0.1 口m至＞5 口m范圍內(nei)的閾值（下限）顆粒尺(chi)寸用于確(que)定(ding)空氣潔凈(jing)度(du)顆粒濃度(du)以進行(xing)分類。
- 4.3 ；ISO等級編號
按顆粒濃(nong)度劃分的空氣潔凈度等級應(ying)由(you)(you)ISO等級編號(hao)N指定。每個(ge)考慮的顆粒尺寸的較大允許顆粒濃(nong)度由(you)(you)表1確定。
表1中(zhong)不同(tong)閾值的粒(li)子數濃度并不反映空氣中(zhong)的實際粒(li)子大小和數量(liang)分布，僅作為(wei)堆標準。分類計算的例子包含在(zai)附件B中(zhong)。
? ISO 2015 -版(ban)權所有(you)本文件由
表1按顆粒濃度劃分的ISO空氣潔凈度等級
| ISO等級編號（N） | 等于和大于所考慮尺寸的顆粒的較大允許濃度（顆粒/立方米），如下所示a | |||||
| 0.1微米 | 0，2微米 | 0.3微米 | 0.5微米 | 1微米 | 5微米 | |
| ； | 10b | d | d | d | d | ； |
| 2-t- | 100 | 24b | 10 b | d | d | ； |
| 3-r | 1000 | 237 | 102 | 35 b | d | ”. |
| 4個 | 10 000 | 2 370 | 1020 | 352 | 83 b | ； |
| ； | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | d，e，f |
| 6午 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
| 7 | C | c | c | 352 000 | 83 200 | 2 930 |
| 時 | C | c | c | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 |
| 9克 | C | c | c | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
| A 表中的所有濃度都是累積的，例如，對于ISO 5級，0.3 nm處顯示的10 200個顆粒包括所有等于和大于該尺寸的顆粒。b這些濃度將導致用于分類的大量空氣樣本。可采用順序抽樣程序；見附錄D。c由于顆粒濃度特別高，濃度限值不適用于表中的這個區域。d低濃度顆粒的采樣和統計限制使分類不合適。e由于采樣系統中潛在的顆粒損失，低濃度和尺寸大于1 nm的兩種顆粒的樣品收集限制使得在此顆粒尺寸下的分類不合適。F 為了指定與ISO等級5相關的該粒徑，大粒子描述符M可以適用并與至少一種其他粒徑結合使用。（見C.7O ；）g該等級僅適用于運行狀態。 |
4.4名稱
潔(jie)凈室和潔(jie)凈區空氣懸浮粒子濃度的指定應包(bao)括
a） ISO等級(ji)編(bian)號，表(biao)示(shi)為“ISO等級(ji)N”，
b） 分類適用的占用狀態，以及(ji)
c） 考慮的粒徑。
如果要在多個考慮的粒徑下進行測量，則每個較大的粒徑（例如D2）應至少是下一個較小粒徑（例如D1）的1.5倍，即D2 2
1.5 X Dio
示例ISO等級(ji)編號；占(zhan)用狀態(tai)；考慮(lv)的(de)粒徑
ISO等級4；在休息；0.2微(wei)(wei)米(mi)，0.5微(wei)(wei)米(mi)
4.5中(zhong)間十進(jin)制(zhi)清潔度(du)等(deng)級和粒徑(jing)閾值
女口果(guo)需要中(zhong)間類別或(huo)整數和中(zhong)間類別的中(zhong)間粒(li)度閾值，請參閱資料性(xing)附(fu)錄E。
ISO 14644-l:2015（E）
5合規性證明
5.1原理
通(tong)過執行指定的(de)測(ce)試程序并提(ti)供測(ce)試結果和條件的(de)文件來(lai)驗證是否符合(he)客戶指定的(de)空(kong)氣(qi)清潔(jie)度（ISO等(deng)級）要求(qiu)。
可以根據應用程序的風(feng)險評(ping)估(gu)定期執(zhi)行靜態或操(cao)作(zuo)分(fen)類，通(tong)常每年一次。
對于監控(kong)潔(jie)凈(jing)室、潔(jie)凈(jing)區和隔離裝置，應使用(yong)ISO 1464牛2:2015。
注(zhu):如(ru)果安裝配備(bei)了通過顆(ke)粒濃(nong)度和其(qi)他適用性能參數連續或頻繁監(jian)測空氣(qi)清潔度的儀器，則可以(yi)延長分(fen)級之間的時間間隔(ge)， 前(qian)提是(shi)監(jian)測結果保持在規定的限度內。
5.2測試
證明符(fu)合性的參考(kao)(kao)測試(shi)方法在附錄A （規范性）中給出。可以(yi)指(zhi)定(ding)至(zhi)少具有可比性能的替代(dai)(dai)方法或(huo)儀器（或(huo)兩者）。如果沒有 指(zhi)定(ding)或(huo)商定(ding)替代(dai)(dai)方法，則應使(shi)用參考(kao)(kao)方法。
為證明符合(he)性而(er)進行的測試(shi)應使用(yong)在測試(shi)時符合(he)校準要求的儀器進行。
根據附件A完成測試(shi)后(hou)，每個采樣點的(de)單個樣本體積中(zhong)的(de)顆(ke)粒(li)(li)濃(nong)(nong)I表(biao)(biao)示為每立方米顆(ke)粒(li)(li)數）不得超(chao)過(guo)(guo)表(biao)(biao)1或(huo)表(biao)(biao)E中(zhong)給出(chu)的(de)濃(nong)(nong) 度限(xian)值。1用于所考慮尺寸的(de)中(zhong)間十進制等級。如(ru)果在一個取樣點采集多(duo)個單一樣品體積，則濃(nong)(nong)度應取平(ping)(ping)均值，平(ping)(ping)均濃(nong)(nong)度不得 超(chao)過(guo)(guo)表(biao)(biao)1或(huo)表(biao)(biao)E 1中(zhong)給出(chu)的(de)濃(nong)(nong)度限(xian)值。中(zhong)間粒(li)(li)徑應從公式(shi)（F.1） —
用于(yu)確(que)定是否符合ISO等級的顆粒濃度應對所有考慮的顆粒尺寸采用相同的方法進行測量。
5.4測試報告
應記錄每(mei)個潔凈(jing)室或潔凈(jing)區的測試結果，并(bing)作(zuo)為一份綜合(he)報告提交，同時附(fu)上符合(he)或不符合(he)按顆粒濃度(du)指定的空氣潔凈(jing)度(du)等 級的聲(sheng)明。
測試報告應包括
a） 測試機構的名稱和地址(zhi)，以及(ji)進(jin)行測試的日期，
b） ISO 14644這(zhe)部分的編號和出版年份，即ISO 14644-1:2015，
c） 清楚(chu)地標明被(bei)測(ce)試的潔凈(jing)室或潔凈(jing)區(qu)(qu)的物(wu)理位置(zhi)（必要(yao)時包(bao)括(kuo)對相鄰(lin)區(qu)(qu)域的參考），以及所(suo)有采樣位置(zhi)坐標的具體(ti)指(zhi)定
（圖表表示可能會有所幫助），
d） 潔凈室或潔凈區(qu)的(de)特定指定標準，包括ISO等級編號，
相關的占用狀(zhuang)態，以及(ji)考慮的顆(ke)粒大小，
e） 所用測(ce)(ce)試(shi)方法的(de)詳細信息，與測(ce)(ce)試(shi)相(xiang)關(guan)的(de)任(ren)何特殊條件，或偏離(li)測(ce)(ce)試(shi)方法的(de)情況，以(yi)(yi)及測(ce)(ce)試(shi)儀(yi)器的(de)標識(shi)及其當前校準證書(shu)，以(yi)(yi)
及
f）測試結果(guo)，包(bao)括所有采(cai)樣點的粒子濃度數據。
如果按照附件C中的(de)描(miao)述量化大顆粒的(de)濃度，則相關信息應包(bao)含在測試(shi)報告(gao)中。
ISO 14644-l:2015(E)
附件A (規
范性)
按顆粒(li)物濃度劃分空氣潔凈度的參考(kao)方法
- A. ；1原則
離散(san)粒(li)子計(ji)數(shu)儀用于(yu)確定指定采樣點處等于(yu)和大于(yu)指定尺寸的(de)空氣(qi)懸浮粒(li)子的(de)濃度(du)。
- A. ；2儀器要求
A.2.1粒子(zi)計數儀
該(gai)儀器應具(ju)有(you)顯示或記錄(lu)空氣中離散粒子的(de)數(shu)量和大小(xiao)的(de)方(fang)法，并具(ju)有(you)大小(xiao)辨別能(neng)力，可以檢測所考慮類別的(de)適當粒 子大小(xiao)范圍(wei)內的(de)總粒子濃(nong)度(du)。
注:光(guang)散射(離散)氣載粒(li)子(zi)計數器(LSAPC)通常用于進行空氣潔凈(jing)度分級。
A.2.2儀器校準
粒(li)子計數器(qi)應(ying)具有有效(xiao)的(de)校準證(zheng)書:校準的(de)頻率和方(fang)法應(ying)基于ISO 21501-4中規定的(de)當前(qian)公認的(de)做法。[1]
注:某些粒子計數器無法針對ISO 21501-4中所(suo)有(you)要求的測試(shi)進行校準。如(ru)果是(shi)這種情況，請在測試(shi)報告中記錄使用計數器的 決定。
- A. ；3粒子數測試準備
在測試之前，驗證潔凈(jing)室或潔凈(jing)區的所有有助于其完整性(xing)的相(xiang)關方(fang)面是否完整并按照其性(xing)能規(gui)范運行。
在確(que)定(ding)執(zhi)行潔凈室(shi)性能支(zhi)持(chi)測試的(de)順序時應(ying)小(xiao)心。ISO 14644-3，附(fu)錄(lu)A提供(gong)了一個(ge)清單。
A.4取樣點的建立
A.4.1抽樣點(dian)數的推導
從表(biao)A.1中推導(dao)出采(cai)樣點(dian)的小數量NL。表(biao)A.1提供了與要分類的每(mei)個(ge)潔凈室或潔凈區(qu)區(qu)域相關的采(cai)樣點(dian)數量，并 提供了至少95%的置信(xin)度，即至少90%的潔凈室或潔凈區(qu)區(qu)域不超(chao)過(guo)等級限制。
? ISO 2015 -版權(quan)所(suo)有本文件由
表A.1與潔凈(jing)室區域相(xiang)關的取樣位置
| 潔凈室面積（m2） W | 要測試的采樣點的小數量（N L） |
| 2-t- | ； |
| 4個 | 2-t- |
| 6午 | 3-r |
| 8個 | 4個 |
| 10 | ； |
| 24 | 6午 |
| 28 | 7 |
| 32 | 8個 |
| 36 | 9 |
| 52 | 10 |
| 56 | 11 |
| 64 | 12 |
| 68 | 13 |
| 72 | 14 |
| 76 | 15 |
| 104 | 16 |
| 108 | 17 |
| 116 | 18 |
| 148 | 19 |
| 156 | 20 |
| 192 | 21 |
| 232 | 22 |
| 276 | 23 |
| 352 | 24 |
| 436 | 25 |
| 636 | 26 |
| 1000 | 27 |
| >；1000 | 見公式（A.1） |
| 注1 :如果考慮的面積介于表中的兩個值之間，則應選擇兩者中較大的一個。 | |
| 注2：在單向氣流的情況下，該面積可認為是垂直于氣流方向的移動空氣的橫截面。在所有其他情況下，該 | |
| 區域可被視為潔凈室或潔凈區的水平平面區域。 | ； |
A.4.2定位采(cai)樣位置
為了定位采樣位置
a） 使用從表A.1中導出的小(xiao)采樣點數NL ，
b） 然(ran)后(hou)將整(zheng)個(ge)潔(jie)凈室或潔(jie)凈區分成N L個(ge)面(mian)積相等(deng)的部分，
c） 在(zai)每個部分中(zhong)選擇一個被認為代表(biao)特征的采(cai)樣位置
的部分，和
ISO 14644-l:2015（E）
d）在每個位置，將粒子計數器(qi)探頭定位在工作活動平(ping)面或其他平(ping)面中 指定點。
可以為被認為關鍵的位置選(xuan)擇(ze)額外(wai)的采樣位置尼們的數量和位置也應(ying)商定和規(gui)定。
可以(yi)包(bao)括(kuo)額(e)外的(de)部分和相關的(de)采樣位置(zhi)以(yi)促進細分成相等的(de)部分。
對于非(fei)(fei)單向氣流(liu)潔凈室(shi)或潔凈區，如果它們(men)位(wei)(wei)于非(fei)(fei)擴散送風源的正下方，則位(wei)(wei)置可能不具有代(dai)表性。
A.4.3大型(xing)潔凈(jing)室或潔凈(jing)區的取(qu)樣點(dian)
當潔凈(jing)室(shi)或潔凈(jing)區面積大于1 000 m2時，應(ying)用公(gong)式（A.1）確(que)定所需(xu)的少取樣(yang)點數(shu)。
A
=一(yi) 27= X ；（A.1）
1000
在哪里
N L是要(yao)評估的采樣位置的小數(shu)(shu)量，四(si)舍五(wu)入到下一個整數(shu)(shu) 數(shu)(shu)字；
A是潔凈室(shi)的面積(ji)，m2。
A.4.4確定(ding)單次采(cai)樣(yang)量(liang)和(he)每個位(wei)置的采(cai)樣(yang)時間
女口果選定的較(jiao)大(da)顆粒(li)尺(chi)寸的顆粒(li)濃度處于指定ISO等級(ji)的等級(ji)限值則在每個(ge)(ge)采(cai)樣點采(cai)集(ji)足以檢(jian)測至(zhi)少20個(ge)(ge)顆粒(li)的空氣體積。
每個(ge)采樣點的單次采樣體積Vs由公(gong)式（A.2腌定：
在，廠公一(yi) 1000 （A2）
c彎
在哪里
Vs為(wei)每個(ge)位置的小單次采樣體積，以升(sheng)表示（見(jian)附錄D除外(wai)）；
Cn，m是為(wei)相關等(deng)級指(zhi)定的(de)(de)犬考慮(lv)粒徑(jing)的(de)(de)等(deng)級限制（每立方米的(de)(de)粒子數）；
20是如果粒子濃度(du)在
等級限制。
每個(ge)(ge)位(wei)置采(cai)樣的體積應至(zhi)少(shao)為(wei)2升，每個(ge)(ge)位(wei)置每個(ge)(ge)樣品的短采(cai)樣時(shi)間為(wei)1分鐘。每個(ge)(ge)取(qu)樣點的每個(ge)(ge)樣品體積應相同。
當Vs特別大時，采(cai)樣(yang)所需的(de)時間(jian)可(ke)能會很長。通(tong)過使(shi)用可(ke)選的(de)川貝序采(cai)樣(yang)程(cheng)序（見附(fu)錄(lu)D），所需的(de)樣(yang)本量和獲取樣(yang)本所需的(de)時間(jian)都可(ke)以減少。
A.5取樣程序
A51根據制造商的說明設置粒子(zi)計(ji)數器（見(jian)A.2），包括執行零計(ji)數檢查。
A.5.2取樣(yang)(yang)探(tan)頭(tou)應(ying)指向(xiang)氣(qi)流。如果被采(cai)(cai)樣(yang)(yang)氣(qi)流的(de)方向(xiang)不(bu)受控制或(huo)不(bu)可預測（例如非單向(xiang)氣(qi)流），則(ze)采(cai)(cai)樣(yang)(yang)探(tan)頭(tou)的(de)入(ru)口應(ying)垂直向(xiang) ±o
A.5.3確保在采樣前建立選定占用狀態的正常條(tiao)件。
A.5.4采樣A.4.4中確定的空氣體積，作為(wei)小(xiao)值，在每(mei)個采樣位置對每(mei)個樣品(pin)進行采樣。
A.5.5如果由于已(yi)識別的異(yi)常事件而在(zai)某(mou)個位置發現(xian)超出(chu)規格的計數，則可以(yi)丟棄該計數并在(zai)測試報(bao)告中(zhong)注明并采(cai)集新樣(yang) 品。
A.5.6如果在(zai)某個(ge)位(wei)置發現的(de)不合(he)規格(ge)的(de)計(ji)數是由于潔凈(jing)室(shi)或(huo)設備的(de)技術故(gu)障造(zao)成(cheng)的(de)，則(ze)應查明(ming)(ming)原因，采(cai)取補(bu)救措施(shi)并(bing)對故(gu) 障采(cai)樣(yang)位(wei)置、緊鄰的(de)周圍位(wei)置進行重新測試以及任何其他(ta)受影響的(de)地點。選擇應明(ming)(ming)確(que)記(ji)錄并(bing)證明(ming)(ming)其合(he)理性。
A.6結果處理
A.6.1結果記錄
將每個(ge)(ge)樣(yang)本(ben)測量的(de)(de)(de)結果記錄為每個(ge)(ge)單(dan)個(ge)(ge)樣(yang)本(ben)體積中的(de)(de)(de)粒子(zi)數，每個(ge)(ge)被考慮的(de)(de)(de)粒子(zi)尺寸適合相關的(de)(de)(de)ISO空氣(qi)潔凈度等級(ji)。
注:對于具有濃(nong)度計算模式的(de)粒(li)子計數器，可(ke)能不需(xu)要(yao)手動評估(gu)。
A.6.1.1每個采(cai)樣點(dian)的平(ping)均粒子濃度(du)
當在一個位置(zhi)采集兩個或多個單個樣(yang)(yang)本(ben)體積時，根據(ju)公式（A.3）計算并(bing)記錄來自(zi)單個樣(yang)(yang)本(ben)粒子(zi)濃度的每(mei)個考慮粒子(zi)大”’ 的每(mei)個位置(zhi)的平(ping)均粒子(zi)數。
_ _ 習.” ++習-xin.
Xi _
_ n
在哪里
- 是位置i處的平均粒子數，代表任意位置；
習
xi.l到xi.n是單個(ge)樣本中(zhong)的粒(li)子數(shu)；
n 是在(zai)位置i采集(ji)的樣本數(shu)。
A.6.1.2計算每立方米的濃度
7 xiooo
Ci 二
■ 牡
在哪里
? 是每立方米(mi)的顆(ke)粒(li)濃度；
- 是位置i處的平均粒子數，代表每個位置；
ISO 14644-l:2015（E）
? 是選定(ding)的單個樣(yang)品體積，單位為升(sheng)。
A.6.2結果解釋
A.6.2.1分類(lei)要求
如(ru)果在每個采樣點(dian)測量的(de)(de)平(ping)均顆粒濃(nong)度(du)(du)（表示(shi)為每立方米顆粒數）不超過表1確定的(de)(de)濃(nong)度(du)(du)限值，則認為潔凈(jing)(jing)(jing)室或潔凈(jing)(jing)(jing) 區已滿足規定的(de)(de)空(kong)氣潔凈(jing)(jing)(jing)度(du)(du)等級要求.
如果(guo)使(shi)(shi)用附(fu)錄E中定義的中間級別或粒度，則應(ying)使(shi)(shi)用從表E.1或公式（EJ再出的適當限值(zhi)。
A.6.2.2超標結果(guo)
如果計(ji)數(shu)超出規格，則應(ying)(ying)進行(xing)調查。調查和補救措施的(de)結果應(ying)(ying)記錄在測試報告中（見5.4）。
附錄B （資 料性）
分類計算示例
- B. ；1示例1
B.1.1潔凈室面積為18 m2，按ISO 5級標準運行。分類將使用流量為每分鐘2&；3升的離散粒子計數器進行。 考慮兩種粒徑：D > 0，3 |im和D > 0，5 |imo
根據表A. 1 ，采樣點(dian)的數量(liang)NL確定為六個。
B.1.2 ISO 5級(ji)粒子濃度限值取自表1：
Cn （》0，3 |im） = 10 200個顆粒/立方米
Cn （》0，5 |im） = 3 520個粒(li)子/立方米
B.1.3所需單(dan)次(ci)樣品(pin)量(liang)可由式（A.2）計算如下：
= 20
在 1 ；1000 X
C納李
20
Vs=（ ）0，00568 X1000
單(dan)個樣(yang)品體積經計算為(wei)5.68 I。由于用于該測試的LSAPC的流速為(wei)每分(fen)鐘28.3升(sheng)，因此需(xu)要(yao)進行1分(fen)鐘的單(dan)次采(cai)樣(yang)計數（參 見A.4.4），因此對于每個單(dan)次采(cai)樣(yang)體積將采(cai)樣(yang)28.3升(sheng).
注(zhu):在a.4.4中(zhong)，程區的(de)(de)(de)(de)(de)小樣品(pin)體(ti)(ti)積(ji)(ji)是(shi)通過計算如上所(suo)(suo)示的(de)(de)(de)(de)(de)小樣品(pin)體(ti)(ti)積(ji)(ji)，然(ran)后確定粒子計數(shu)(shu)器(qi)在1分(fen)鐘(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)時(shi)(shi)間(jian)段內(nei)運行所(suo)(suo)獲(huo)(huo)得(de)的(de)(de)(de)(de)(de) 樣品(pin)體(ti)(ti)積(ji)(ji)來設置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)。每個位置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)采(cai)樣必須至少持續1分(fen)鐘(zhong)；如果在1分(fen)鐘(zhong)內(nei)滿足計算的(de)(de)(de)(de)(de)小采(cai)樣量，則在1分(fen)鐘(zhong)結束時(shi)(shi)可以停止(zhi)采(cai)樣過 程。如果使用(yong)儀器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)速(su)在1分(fen)鐘(zhong)內(nei)無法獲(huo)(huo)得(de)計算出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)小體(ti)(ti)積(ji)(ji)，則采(cai)樣必須持續更(geng)長的(de)(de)(de)(de)(de)時(shi)(shi)間(jian)，直到至少獲(huo)(huo)得(de)小采(cai)樣體(ti)(ti)積(ji)(ji)。由于粒 子計數(shu)(shu)器(qi)有多(duo)種(zhong)可能的(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)速(su)，因此用(yong)戶在確定滿足1分(fen)鐘(zhong)要求和計算出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)小樣品(pin)體(ti)(ti)積(ji)(ji)所(suo)(suo)需(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)采(cai)樣時(shi)(shi)間(jian)時(shi)(shi)，應注(zhu)意驗證要使用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)特 定儀器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)速(su)。
B.1.4在(zai)每個取樣點只取一個樣品體積。如表B.1和(he)B.2所示(shi)，計算每個位置和(he)每個粒(li)徑的每立(li)方(fang)米顆粒(li)數(shu)xi o
ISO 14644-l:2015（E）
表B. 1 > 0.3 nm顆粒的(de)采(cai)樣數據
| 采樣位置 | 樣品1XI >；0，3 |jm （每28？3 1計數） | 位置樣本平均值(每28.3升計數) | 位置集中平均值侮 立方米計數二位置平均值X 35，3) | 0.3 um粒徑的ISO 5級限制 | 過關失敗 |
| ； | 245 | 245 | 8 649 | 10 200 | 經過 |
| 2-t- | 185 | 185 | 6 531 | 10 200 | 經過 |
| 3T | 59 | 59 | 2 083 | 10 200 | 經過 |
| 4個 | 106 | 106 | 3 742 | 10 200 | 經過 |
| ； | 164 | 164 | 5 789 | 10 200 | 經過 |
| 6午 | 196 | 196 | 6919 | 10 200 | 經過 |
表B.2 > 0.5 nm顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣品1XI >；0，5 nm （每2&；3 1計數） | 位置樣本平均值(每28.3升計數) | 位置集中平均值侮 立方米計數二位置平均值X 35，3) | 0.5 nm粒徑的ISO 5級限制 | 過關失敗 |
| ； | 21 | 21 | 741 | 3 520 | 經過 |
| 2-t- | 24 | 24 | 847 | 3 520 | 經過 |
| 3T | 0 | 0 | 0 | 3 520 | 經過 |
| 4個 | 7 | 1 | 247 | 3 520 | 經過 |
| 5T | 22 | 22 | 777 | 3 520 | 經過 |
| 6午 | 25 | 25 | 883 | 3 520 | 經過 |
B.1.5 D > 0.3 pm的每個濃度值均小于10 200個粒子/m3的限值，D > 0.5 [im的(de)每個(ge)濃度(du)值均(jun)小于B.1.2中規定的(de)3 520個(ge)粒子/m3的(de)限值；因(yin)此，潔凈室的(de)顆粒濃度(du)空氣潔凈度(du)符合要求的(de)ISO等級。
- B. ；2示例2
B.2.1潔凈(jing)室(shi)面積為9m2 ，按ISO 3級標(biao)準運行(xing)。分(fen)類將使用流量為每分(fen)鐘50.0升的離散(san)粒(li)子計數器(qi)進行(xing)。 僅考(kao)慮一種粒(li)徑(D > 0，1 nm)o
根據表A. 1 ，采(cai)樣點(dian)的數(shu)量NL確定(ding)為(wei)五個。
B.2.2 ISO等級3》0.1 nm的顆粒濃度限值取自表1：
Cn (> 0，1 |im) = 1 000 個粒子(zi)/m3
B.2.3所(suo)需單次樣品(pin)量可(ke)由式(shi)(A.2)計算如下：
= 20
1± 1 1000 X
砂 C
納來，
20
VS — 1000 X
Vs = （） 0 0， 2 1 X 000
Vs = 20，0 升
單個樣(yang)品體積經計(ji)算為(wei)20.0 I。由于用于此測試的(de)離散(san)粒(li)子計(ji)數器(qi)的(de)流速(su)為(wei)每(mei)分鐘50.0升(sheng)，因此需要進行1分鐘的(de)單次采樣(yang) 計(ji)數（見A.4.4），因此每(mei)次采樣(yang)50.0升(sheng)單個樣(yang)品體積。
B.2.4在每(mei)(mei)個取(qu)樣點只取(qu)一個樣品體積。計算每(mei)(mei)個位置的每(mei)(mei)立方(fang)米顆(ke)粒數xi并記(ji)錄在表(biao)B.3中。
表B.3 >；0.1nm顆(ke)粒的(de)采樣數據
| 采樣位置 | 樣品1 Xi a 0，1 |jm (每 50，0 l計數) | 位置樣本平均值（每 50.0升計數） | 位置集中平均值（每立方米計數二位置平 均值X 20） | 0，1 |jm粒徑的ISO 3級限值 | 過關失敗 |
| ； | 46 | 46 | 920 | 1000 | 經過 |
| 2-t- | 47 | 47 | 940 | 1000 | 經過 |
| if | 46 | 46 | 920 | 1000 | 經過 |
| 4個 | 44 | 44 | 880 | 1000 | 經過 |
| St | 9 | 9 | 180 | 1000 | 經過 |
B.2.5 D > 0.1 pm的(de)(de)(de)每個(ge)濃度(du)值(zhi)均小于(yu)表1中規定的(de)(de)(de)1000個(ge)顆粒/m3的(de)(de)(de)限值(zhi)；因(yin)此，潔凈(jing)室的(de)(de)(de)顆粒濃度(du)空(kong)氣潔凈(jing)度(du)符(fu)合要(yao)求 的(de)(de)(de)ISO等級。
- B. ；3示例3
B.3.1潔凈室占地(di)面積64平方米，按ISO 5級標準運行(xing)。分類將使用流量(liang)為每分鐘28.3升的離散粒子計數器進行(xing)。僅考慮一 種粒徑（D > 0，5 |im）o
根據表A. 1 ，采樣點數量NL確定為12 o
B.3.2 ISO 5級》0.5 nm的顆粒濃度限值取(qu)自表1：
Cn （》0，5 |im） = 3 520個粒子(zi)/立方米
B.3.3所需單次樣品量可由(you)式（A.2）計算(suan)如下:
Vs= () 0，00568 X1000
ISO 14644-l:2015(E)
Vs =5 – 6、8 升
單個樣(yang)(yang)品體積經計算為5.68 I。由(you)于用于此測試的(de)(de)離散粒子(zi)計數器的(de)(de)流速為每(mei)分鐘28.3升(sheng)，因此需要進行1分鐘的(de)(de)單次采樣(yang)(yang)
計數（見A.4.4），因此每次(ci)采樣(yang)2&；3升樣(yang)本量。
B.3.4在每(mei)個取樣點只取一(yi)個樣品體積。計(ji)算每(mei)個位置的每(mei)立方米顆粒數xi并(bing)記錄(lu)在表B.4中。
表B.4 > 0.5 nm顆(ke)粒的(de)采(cai)樣(yang)數據
| 采樣位置 | 樣品1 xi >；0，5 |jm | 位置樣本平均濃度（每28.3升計數） | 位置集中平均值侮立方米計數二位置平均值X 35，3） | 0.5 nm粒徑的IS05級限制 | 過關失敗 |
| ； | 35 | 35 | 1236 | 3 520 | 經過 |
| 2-t- | 22 | 22 | 777 | 3 520 | 經過 |
| 3T | 89 | 89 | 3 142 | 3 520 | 經過 |
| 4個 | 49 | 49 | 1730 | 3 520 | 經過 |
| 5T | 10 | 10 | 353 | 3 520 | 經過 |
| 6午 | 60 | 60 | 2 118 | 3 520 | 經過 |
| 7 | 18 | 18 | 635 | 3 520 | 經過 |
| 8個 | 44 | 44 | 1553 | 3 520 | 經過 |
| 9 | 59 | 59 | 2 083 | 3 520 | 經過 |
| 10 | 51 | 51 | 1800 | 3 520 | 經過 |
| 11 | 6午 | 6午 | 212 | 3 520 | 經過 |
| 12 | 31 | 31 | 1094 | 3 520 | 經過 |
B.3.5 D = 0.5 pm的(de)(de)每個濃度值均小于表(biao)1中(zhong)規定的(de)(de)3 520個顆粒/m3的(de)(de)限值；因此，潔凈(jing)室的(de)(de)顆粒濃度空氣潔凈(jing)度符(fu)合要求 的(de)(de)ISO等級(ji)。
B.4示例4
B.4.1潔(jie)凈室面積(ji)為(wei)25m2，按ISO 5級標準運行(xing)。分類將使用流量為(wei)每分鐘28.3升的離(li)散粒子(zi)計數(shu)器進行(xing)。
僅考慮一(yi)種粒徑（D > 0，5 nm）o
表A. 1中采樣點的小數量為7O
B.4.2 ISO等級5》0.5 nm的(de)顆粒濃度限值從表1中獲得如下：
Cn （》0，5 |im） = 3 520個粒子(zi)/立方米
B.4.3所需單次(ci)樣品體積可由式（A.2）計算如下：
20
VS =
Vs = ( )0，00568 X1000
Vs =5 – 6、8升
單個樣品(pin)體(ti)積經計算為(wei)(wei)5.68 I。由于用于此測試的離(li)散粒子計數器的流速為(wei)(wei)每分(fen)鐘28.3升(sheng)(sheng)，因此需要(yao)進(jin)行1分(fen)鐘的單次采樣 計數(見A.4.4)，因此每次采樣28.3升(sheng)(sheng)單個樣品(pin)體(ti)積。
B.4.4表A.1要求的取樣(yang)(yang)點數為7個(ge)，但本例表明供需(xu)雙方同意增加3個(ge)，共計10個(ge)。在(zai)每個(ge)采樣(yang)(yang)位置，單(dan)個(ge)樣(yang)(yang)本體(ti)積的數量從1 到3不等。
B.4.5出于(yu)記錄目的(de)，每立方米的(de)顆(ke)粒數(濃度)xi是根據每個位(wei)置(2&；3 X 35.3)的(de)每單位(wei)體積(ji)(28.3 I)的(de)平均計數計算(suan)得 出的(de)，如表B.5.
表B.5 》0.5 nm顆粒(li)的采樣數據
| 采樣位置 | 樣品1 xi $0，5 |jm（每28.3升計 數） | 樣品2 xi $0，5 nm （每28？3 1計數） | 樣品3xi^0，5 nm （每28？3 1計數） | 位置樣本平 均值侮 28.3升計 數) | 位置集中平均值(每立方米計數二位置平均值X 35？3) | 2 ；0，5 |jm 粒 徑的ISO5級限值 | 過關失敗 |
| ； | 47 | 57 | ； | 52 | 1836 | 3 520 | 經過 |
| 2-t- | 12 | ； | ； | 12 | 424 | 3 520 | 經過 |
| 3T | 162 | 78 | 32 | 91 | 3 201 | 3 520 | 經過 |
| 4個 | 148 | 74 | 132 | 118 | 4165 | 3 520 | 失敗 |
| 5T | ； | 0 | ； | 0，5 | 18 | 3 520 | 經過 |
| 6午 | 19 | 22 | 17 | 19 | 682 | 3 520 | 經過 |
| 7 | ； | 15 | 3T | 8個 | 271 | 3 520 | 經過 |
| 8個 | 38 | 21 | ； | 30 | 1041 | 3 520 | 經過 |
| 9 | 54 | 159 | 78 | 97 | 3 424 | 3 520 | 經過 |
| 10 | 48歲 | 62 | 53 | 54 | 1918 | 3 520 | 經過 |
B.4.6在采(cai)樣(yang)位置(zhi)(zhi)4，平均采(cai)樣(yang)體(ti)積濃度(du)4 165不符(fu)合ISO 5級較(jiao)大粒子數(shu)標準3 520。在位置(zhi)(zhi)3和位置(zhi)(zhi)9，其中一個粒子計數(shu)
濃度不(bu)(bu)符合(he)規(gui)定的(de)限值(zhi)在表(biao)1中；但是(shi)，位(wei)置(zhi)3的(de)平均粒子濃度和位(wei)置(zhi)9的(de)平均粒子濃度確(que)實滿足表(biao)1中規(gui)定的(de)限值(zhi)。由于位(wei) 置(zhi)4不(bu)(bu)符合(he)粒子濃度的(de)空氣潔凈(jing)度，因此潔凈(jing)室不(bu)(bu)符合(he)要求的(de)ISO等級。
B.5示例5
B.5.1潔凈室的建筑面積為10.7 m2，并指定為ISO 7.5級運行。分類將使用流速為每分鐘28.3升的離散粒子計數器進行。僅 考慮一種粒徑(D 2 ；0，5 nm)o
根據表A.1確定采(cai)樣(yang)點數為6個。
ISO 14644-l:2015（E）
B.5.2 ISO等級7.5 > 0.5 [im的(de)顆(ke)粒濃度限值從表E.l中(zhong)獲(huo)得(de)。
2 08
N 01 ；‘；
玄采扣(kou) ）10 = 在哪里否(fou)二(er)丐和 丁二(er)0戶毫米(mi)
D
oi ；2 08
和沙微米）=516，-—
J” ‘ 05
CN（玄 0 5， X 31）^22777 0 03516757 微米=
Cn（$05，微米）二 1112096保留三位有效數字(zi) 1110000 particles/m3 –；
B.5.3所需單(dan)次取樣量可由(you)式（A.2）計算如下：
二 20
1 ；1000 X
C 納炭
20 _
VS= ；‘ 1000 0^17 99 升
1112000
單(dan)個樣(yang)品體積(ji)經計算為0，01799 I。由(you)于用于此(ci)(ci)測試(shi)的(de)離散粒(li)子計數器的(de)流(liu)速為每分(fen)鐘28.3升，因此(ci)(ci)需要進行1分(fen)鐘的(de)單(dan)次 采樣(yang)計數（見A.4.4），因此(ci)(ci)每次采樣(yang)2&；3升單(dan)個樣(yang)品體積(ji)。
B.5.4在每(mei)個采(cai)樣點，單(dan)個采(cai)樣體積的數量從(cong)1到(dao)3不(bu)等。計算(suan)每(mei)個位置(zhi)的每(mei)立方米顆(ke)粒數xi并記錄(lu)在表B.6中。
表B.6 > 0.5 nm顆粒(li)的(de)采樣數據(ju)
| 采樣位置 | 樣本1xi > 0，5 pirn （每28，3 1計數） | 樣本2xi > 0，5 pirn （每28，3 1計數） | 樣品3xi > 0，5 pirn （每28，3 1計數） | 地點樣本平均值（每28.3升計數） | 位置集中平均值（每 立方米計數二位 置平均值X 35，3） | ISO等級0.5 [xm粒徑的7.5限值 | 過關失 敗 |
| ； | 11679 | ； | ； | 11679 | 412 269 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 2平 | 9 045 | ； | ； | 9 045 | 319 289 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 3T | 12 699 | ； | ； | 12 699 | 448 275 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 4個 | 26 232 | 27 555 | 34 632 | 29 473 | 1 040 397 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 5T | 7 839 | ； | ； | 7 839 | 276 717 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 6午 | 13 669 | ； | ； | 13 669 | 482 516 | 1110 000 通行 i | 正 |
B.5.5在采(cai)樣(yang)位置4，第三個(ge)樣(yang)本(ben)體積濃(nong)度1 222 507 （34 632 X 35，3）不(bu)符合ISO Class 7，5較(jiao)大粒(li)子(zi)計數標(biao)準(zhun)1 110 000。 每個(ge)單一樣(yang)本(ben)體積的(de)(de)濃(nong)度不(bu)符合使用表(biao)E.1確定的(de)(de)限制(zhi)；但是，每個(ge)采(cai)樣(yang)點的(de)(de)平均粒(li)子(zi)濃(nong)度確實滿(man)足(zu)表(biao)E.1的(de)(de)應用所(suo)確定的(de)(de)限 值。
因(yin)此，潔凈(jing)室(shi)的(de)顆粒(li)濃度(du)空氣潔凈(jing)度(du)符(fu)合要求的(de)ISO等級(ji)。
B.6 例 6
B.6.1潔凈室(shi)的建筑(zhu)面(mian)積為2 100 m2，并指(zhi)定為ISO 7級運行(xing)。分(fen)類將使用流量為每(mei)分(fen)鐘28.3升的離散(san)粒(li)子計數器(qi)進行(xing)。僅 考慮一(yi)種粒(li)徑(D > 0，5 |im)o
表A. 1給出的采樣點數(shu)量NL限于1000 m2面(mian)積的潔凈室
對于(yu)2 100 m2的潔凈室，采樣點數NL由公式(A.1)推導出：
27
”■?、 ；= 56 7四舍五入為57
1000
B.6.2IS0等(deng)級7》0.5口m的(de)顆(ke)粒濃度限值取自表1：
Cn (N 0，5 nm) = 352 000 顆粒/立方米
B.6.3所需(xu)的(de)單次樣品體積(ji)可由式(A.2)計(ji)算如下：
= 20
1± 1 1000 X
妙 C
納來，
20
V S — ‘ 1000 X
352000
Vs = () 0，0000568 1 X 000
Vs = 0，0568 升
單(dan)(dan)個(ge)樣品體(ti)積經(jing)計(ji)算為(wei)0，0568 I。由于用于此(ci)測試的(de)離散粒(li)子計(ji)數器的(de)流(liu)速為(wei)每(mei)分鐘28.3升(sheng)，因此(ci)需(xu)要進(jin)行1分鐘的(de)單(dan)(dan)次采 樣計(ji)數(見A.4.4)，因此(ci)每(mei)次采樣28.3升(sheng)單(dan)(dan)個(ge)樣品體(ti)積。
B.6.4在(zai)每個取(qu)樣點(dian)只取(qu)一個樣品體(ti)積。計算每個位(wei)置(zhi)的(de)每立方米顆粒(li)數xi并記錄在(zai)表B.7中。
ISO 14644-l:2015(E)
表B.7 2 ；0.5 kim顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣本1xi > 0，5 nm (每28，3 1計數) | 位置樣本平均值（每28.3升計數） | 位置集中平均的（每立方米計數二位置平均值x 35，3） | 0.5 um粒徑的ISO 7級 限制 | 過關失敗 |
| ； | 5 678 | 5 678 | 200 434 | 352 000 | 經過 |
| 2-t- | 7 654 | 7 654 | 270 187 | 352 000 | 經過 |
| 3-r | 2 398 | 2 398 | 84 650 | 352 000 | 經過 |
| 4個 | 4 578 | 4 578 | 161604 | 352 000 | 經過 |
| ； | 8 765 | 8 765 | 309 405 | 352 000 | 經過 |
| 6午 | 4 877 | 4877 | 172 159 | 352 000 | 經過 |
| 7 | 8 723 | 8 723 | 307 922 | 352 000 | 經過 |
| 8個 | 7 632 | 7 632 | 269 410 | 352 000 | 經過 |
| 9 | 7 643 | 7 643 | 269 798 | 352 000 | 經過 |
| 10 | 6 756 | 6 756 | 238 487 | 352 000 | 經過 |
| 11 | 5 678 | 5 678 | 200 434 | 352 000 | 經過 |
| 12 | 5 476 | 5 476 | 193 303 | 352 000 | 經過 |
| 13 | 8 576 | 8 576 | 302 733 | 352 000 | 經過 |
| 14 | 7 765 | 7 765 | 274 105 | 352 000 | 經過 |
| 15 | 3 456 | 3 456 | 121997 | 352 000 | 經過 |
| 16 | 5 888 | 5 888 | 207 847 | 352 000 | 經過 |
| 17 | 3 459 | 3 459 | 122 103 | 352 000 | 經過 |
| 18 | 7 666 | 7 666 | 270 610 | 352 000 | 經過 |
| 19 | 8 567 | 8 567 | 302 416 | 352 000 | 經過 |
| 20 | 8 345 | 8 345 | 294 579 | 352 000 | 經過 |
| 21 | 7 998 | 7 998 | 282 330 | 352 000 | 經過 |
| 22 | 7 665 | 7 665 | 270 575 | 352 000 | 經過 |
| 23 | 7 789 | 7 789 | 274 952 | 352 000 | 經過 |
| 24 | 8 446 | 8 446 | 298 144 | 352 000 | 經過 |
| 25 | 8 335 | 8 335 | 294 226 | 352 000 | 經過 |
| 26 | 7 988 | 7 988 | 281 977 | 352 000 | 經過 |
| 27 | 7 823 | 7 823 | 276152 | 352 000 | 經過 |
| 28 | 7911 | 7911 | 279 259 | 352 000 | 經過 |
| 29 | 7 683 | 7 683 | 271210 | 352 000 | 經過 |
| 30 | 7 935 | 7 935 | 280 106 | 352 000 | 經過 |
| 31 | 6 534 | 6 534 | 230 651 | 352 000 | 經過 |
| 32 | 4 667 | 4 667 | 164 746 | 352 000 | 經過 |
| 33 | 6 565 | 6 565 | 231745 | 352 000 | 經過 |
| 34 | 8 771 | 8 771 | 309 617 | 352 000 | 經過 |
| 35 | 5 076 | 5 076 | 179 183 | 352 000 | 經過 |
| 36 | 6 678 | 6 678 | 235 734 | 352 000 | 經過 |
| 37 | 7 100 | 7 100 | 250 630 | 352 000 | 經過 |
| 38 | 8 603 | 8 603 | 303 686 | 352 000 | 經過 |
表B.7 （續）
| 采樣位置 | 樣本1xi > 0，5 nm （每28？3 1計數） | 位置樣本平均值（每28.3升計數） | 位置集中平均的（每立方米計數二位置平均值X 35，3） | 0.5um粒徑的ISO 7級 限制 | 過關失敗 |
| 39 | 7 609 | 7 609 | 268 598 | 352 000 | 經過 |
| 40 | 7 956 | 7 956 | 280 847 | 352 000 | 經過 |
| 41 | 7 477 | 7 477 | 263 939 | 352 000 | 經過 |
| 42 | 7 145 | 7 145 | 252 219 | 352 000 | 經過 |
| 43 | 6 998 | 6 998 | 247 030 | 352 000 | 經過 |
| 44 | 7 653 | 7 653 | 270 151 | 352 000 | 經過 |
| 45 | 6 538 | 6 538 | 230 792 | 352 000 | 經過 |
| 46 | 3 679 | 3 679 | 129 869 | 352 000 | 經過 |
| 47 | 4 887 | 4 887 | 172 512 | 352 000 | 經過 |
| 48歲 | 7 648 | 7 648 | 269 975 | 352 000 | 經過 |
| 49 | 8 748 | 8 748 | 308 805 | 352 000 | 經過 |
| 50 | 7 689 | 7 689 | 271 422 | 352 000 | 經過 |
| 51 | 7 345 | 7 345 | 259 279 | 352 000 | 經過 |
| 52 | 7 888 | 7 888 | 278 447 | 352 000 | 經過 |
| 53 | 7 765 | 7 765 | 274 105 | 352 000 | 經過 |
| 54 | 6 997 | 6 997 | 246 995 | 352 000 | 經過 |
| 55 | 6 913 | 6 913 | 244 029 | 352 000 | 經過 |
| 56 | 7 474 | 7 474 | 263 833 | 352 000 | 經過 |
| 57 | 8 776 | 8 776 | 309 793 | 352 000 | 經過 |
B.6.5 D > 0.5 um的每(mei)個(ge)濃(nong)度值均(jun)小于表(biao)1中(zhong)規(gui)定的352 000個(ge)顆粒/m3的限值；因此，潔凈室的顆粒濃(nong)度空氣(qi)潔凈度符 合要(yao)求(qiu)的ISO等級n—
ISO 14644-l:2015（E）
附錄c （資
料性）
空氣中大(da)顆(ke)粒的計數(shu)和分級(ji)
c.i原則
在(zai)某些情況下，通常是那些與特(te)定過程(cheng)要(yao)求相關(guan)的情況，可以根據不在(zai)適用于(yu)分類的尺寸范圍內(nei)的粒子(zi)群來指定替代的空氣 潔凈度(du)級別。此類顆(ke)粒的較(jiao)大允許濃度(du)和(he)(he)驗(yan)證(zheng)合規性的測試方法(fa)的選(xuan)擇是客戶和(he)(he)供應商(shang)之間的協議事(shi)項(xiang)。
C.2中給出(chu)了測試方法(fa)和規范規定格(ge)式的注意事(shi)項。
C.2考慮大(da)于5|im的粒(li)(li)子（大(da)粒(li)(li)子）M描述符
C.2.1申請
如果要評估大于5 nm的顆粒造成的污染風(feng)險，則(ze)應(ying)采用(yong)適合此類(lei)顆粒具體特性的采樣(yang)設備和(he)測(ce)量程(cheng)序。
可以在三種定義的(de)(de)占用狀態中的(de)(de)任何一(yi)種下測量(liang)尺寸分布閾(yu)值(zhi)介于5 nm和(he)20 nm之間的(de)(de)空氣(qi)懸浮粒子濃度:竣工(gong)、靜止和(he) 運行狀態。
由(you)于(yu)過程環(huan)境中(zhong)的(de)粒子釋(shi)放(fang)通常在空氣(qi)中(zhong)粒子群的(de)大粒子部分中(zhong)占主導地(di)位，因此應根據特定應用確定合適的(de)采樣設備和測 量(liang)程序。需要考慮顆粒的(de)密(mi)度、形(xing)狀、體積和空氣(qi)動力(li)學行(xing)為等因素。此外(wai)，可(ke)能(neng)有必要特別強調總空氣(qi)傳播人口(kou)的(de)特定組成(cheng)部 分，例如纖(xian)維。
C.2.2 M描(miao)述符格式(shi)
M描述符可(ke)以指定為(wei)粒(li)子濃(nong)度空氣潔凈度等級的補充。
M描述符的表達格式
“；ISOM （a； ；b） ； ；C”；
在哪里
a是(shi)大(da)(da)顆(ke)粒的(de)較大(da)(da)允許濃度（表示(shi)為每個大(da)(da)顆(ke)粒
立方米空氣）；
b是與(yu)特定大(da)顆粒測(ce)量(liang)方法相關(guan)的當量(liang)直(zhi)(zhi)徑（或直(zhi)(zhi)徑）（以(yi)微(wei)米表示）；
c是指定的測(ce)量方(fang)法。
示例1要表示基于使用LSAPC的(de)粒徑范圍^5 pm的(de)空(kong)氣濃度為29個顆粒/立方米(mi)，名稱應為：“ISO M （29 ^5 pm）； ；LSAPC” o
示例2根據使用飛行時間氣溶膠粒子計數器確定粒子的空氣動力學直徑，要表示粒徑范圍＞ ；10 pm的空氣(qi)懸浮粒子(zi)濃度為(wei)2 500個(ge) 粒子(zi)/立方(fang)米(mi)，名稱應為(wei)：“ISO M （2 500；》10 pm）；飛行時(shi)間氣(qi)溶膠(jiao)粒子(zi)計數器”。
示例3為(wei)了表達10至20 pim粒徑(jing)范圍內(nei)1000個顆粒/m3的(de)空氣懸浮顆粒濃度，基于(yu)使用級聯沖擊器，然后(hou)進行顯(xian)微尺(chi)寸(cun)測定和(he)計數， 命名為(wei)：“ISOM （1000；10至20微米）；級聯撞擊器，然后(hou)進行顯(xian)微尺(chi)寸(cun)測量(liang)和(he)計數”。
注1如果被釆樣的(de)空氣懸浮粒子群包(bao)含纖維(wei)(wei)，則可以(yi)通過用單獨(du)的(de)纖維(wei)(wei)描述符(fu)補充M描述符(fu)來說明它(ta)們，其格式為“Mfibre （a b） C” o
注2 IEST-G-CC1003中給出了適用于大于5 pm空氣懸浮粒子濃(nong)度(du)的測(ce)試(shi)方(fang)法。[2]
- C. ；3大粒子的空氣傳播粒子數
C.3.1原理
該測試方法描述了(le)對直徑大(da)(da)于5|im的(de)(de)空氣懸浮顆(ke)(ke)粒(li)（大(da)(da)顆(ke)(ke)粒(li)）的(de)(de)測量。C.3中(zhong)給(gei)出的(de)(de)程序改編自(zi)IEST-GCC1003:1999o [2冋以(yi)(yi)在(zai)潔凈室或潔凈 區安裝中(zhong)以(yi)(yi)三種J旨定占用狀態中(zhong)的(de)(de)任何(he)一種進行(xing)測量:竣工、靜(jing)止或運(yun)行(xing)。進行(xing)測量以(yi)(yi)確定大(da)(da)顆(ke)(ke)粒(li)的(de)(de)濃度(du)，并(bing)且可以(yi)(yi)應用5.1、5.2和(he)(he)5.4中(zhong)的(de)(de)原則。強(qiang)調 需要適(shi)當的(de)(de)樣(yang)品采集和(he)(he)處(chu)理，以(yi)(yi)較(jiao)大(da)(da)限度(du)地減少(shao)樣(yang)品處(chu)理操(cao)作(zuo)中(zhong)大(da)(da)顆(ke)(ke)粒(li)的(de)(de)損(sun)失。
C.3.2總則
取樣(yang)點的數量(liang)、位置(zhi)的選(xuan)擇和所需數據(ju)的數量(liang)應(ying)符合A.4的規(gui)定。客(ke)戶和供應(ying)商應(ying)就大顆(ke)粒(li)的較大允許濃度、顆(ke)粒(li)的當(dang)量(liang)直徑和規(gui)定的測量(liang)方(fang)法達(da)成一 致(zhi)。通過客(ke)戶和供應(ying)商之(zhi)間的協議(yi)何以使用具有(you)等效精(jing)度并提供等效數據(ju)的其他(ta)適當(dang)方(fang)法。如(ru)果沒有(you)商定其他(ta)方(fang)法，或(huo)者(zhe)在有(you)爭議(yi)的情況(kuang)下，應(ying)使用 附錄C中的參考方(fang)法。
C.3.3樣品處(chu)理注意事項
使用(yong)大顆粒時需要仔(zi)細收(shou)集和(he)處理樣品。IEST-G-CC1003:1999中(zhong)提供了對系統(tong)(tong)要求的(de)完整討(tao)論，這些系統(tong)(tong)可(ke)用(yong)于等速或非等速采樣以及粒子(zi)傳
輸到測量點。[2]
C.3.4大粒子測(ce)量方法
大粒子測量方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)有兩大類。如(ru)果使用不同(tong)的(de)(de)測量方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)，可(ke)(ke)能不會產生可(ke)(ke)上岀(chu)交的(de)(de)結果。由于這個原(yuan)因，不同(tong)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)之間的(de)(de)關(guan)聯可(ke)(ke)能是不可(ke)(ke)能的(de)(de)。各種方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)產生 的(de)(de)粒徑信(xin)息(xi)
方法在C.3.4.1和C.3.4.2中進行了總纟(mi) ；
C.3.4.1原(yuan)位測(ce)量
使(shi)用飛行時間粒(li)子計數器或LSAPC原位(wei)測量大粒(li)子的濃度和大小：
a） LSAPC測量（C.4丄(shang)2）將(jiang)使(shi)用基于等效為學真徑的粒(li)徑報告大粒(li)子；
b） 飛行時間粒度測量(liang)（C.4丄3）將使(shi)用粒度報告大(da)粒子
基于空(kong)氣動力學直(zhi)徑。
ISO 14644-l:2015（E）
C.3.4.2 集合
通過過濾(lv)或慣(guan)性效應收(shou)集，然后(hou)用顯微鏡測量收(shou)集到(dao)的顆粒(li)的數量和大小：
a） 過濾(lv)器收(shou)集(ji)和顯微測量(liang)（C.4.2.2）將使用(yong)粒子(zi)扌艮告大粒子(zi)
尺寸(cun)基于商(shang)定的直(zhi)徑；
b） 級聯撞擊器(qi)收集(ji)和顯微測(ce)量(liang)（C.423）將報告(gao)大顆粒
使用基于(yu)報告粒徑的選擇(ze)的粒徑。
- C. ；4大粒子測量方法
C.4.1無(wu)粒子收集的大粒子測量
C.4.1.1 總’；則
無需從空氣(qi)中收集顆粒即可測(ce)量大顆粒。該過程(cheng)涉(she)及對懸浮(fu)在(zai)空氣(qi)中的顆粒進(jin)行(xing)光學(xue)測(ce)量。空氣(qi)樣本以(yi)特定流速通過LSAPC，報告(gao)顆粒的等效 光學(xue)直(zhi)徑(jing)(jing)或空氣(qi)動力學(xue)直(zhi)徑(jing)(jing)。
C.4丄2光(guang)散射粒子計數器（LSAPC）測量
使用LSAPC進行大粒子測量(liang)的(de)程(cheng)序與附件A中用于(yu)空(kong)氣傳播粒子計(ji)數的(de)程(cheng)序相同(tong)，只有一個例外(wai)。例外(wai)情(qing)況(kuang)是，在這種晴況(kuang)下丄(shang)SAPC不需(xu)(xu)要(yao)檢 測小于(yu)1 kim的(de)顆粒的(de)靈敏度，因為(wei)數據只需(xu)(xu)要(yao)大顆粒計(ji)數。需(xu)(xu)要(yao)注意確保LSAPC直(zhi)接從采樣位置的(de)空(kong)氣中采樣。LSAPC的(de)采樣流(liu)量(liang)至少應 為(wei)28.3 l/min，并應配備(bei)尺寸適合單向(xiang)流(liu)區等速采樣的(de)入(ru)口(kou)探(tan)頭。在存在非單向(xiang)流(liu)的(de)區域丄(shang)SAPC的(de)樣品(pin)入(ru)口(kou)應垂直(zhi)向(xiang)上。
應選擇采樣探頭以允許在單向流區域進行接近等速采樣。如果不可能，將采樣探頭入口設置為朝向氣流的主要方向；在采樣氣流不受控制或不可 預測的位置（例如非單向氣流），采樣探頭的入口應垂直向上。從采樣探頭入口到LSAPC傳感器的傳輸管應盡可能短。對于大于和等于1 kim的 顆粒采樣，傳輸管長度不應超過制造商推薦的長度和直徑，通常長度不超過1 mo
應盡量(liang)減少(shao)由于采樣(yang)系統(tong)中大(da)顆粒(li)損失(shi)引(yin)起的采樣(yang)誤差。
建立了 LSAPC大小范圍設置，以便僅檢測到大粒子。應記錄小于5 pm的一個尺寸的數據，以確保檢狽倒的低于大顆粒尺寸的顆粒的濃度不會 高到足以導致LSAPC測量中的重合誤差。當添加到大顆粒濃度時，該較低尺寸范圍內的顆粒濃度不應超過為所用LSAPC指定的較大推薦顆粒 濃度的50%o
C.4.1.3飛(fei)行時(shi)間粒度測(ce)量
大(da)顆(ke)粒(li)尺寸可以用飛行時間儀器測量(liang)。空氣樣本(ben)被吸入(ru)設備中，并通過(guo)噴嘴(zui)膨脹加速(su)到測量(liang)區域所(suo)在的咅盼真空中。該空氣樣本(ben)中的任何粒(li)子(zi)都 會加速(su)以匹配測量(liang)區域中的空氣速(su)度。粒(li)子(zi)的加速(su)度將與粒(li)子(zi)的質(zhi)量(liang)成反比(bi)。
測(ce)量點的(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)速度(du)和粒子速度(du)之間的(de)關系可用于確定粒子的(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)動力(li)學直徑。了解環(huan)境空(kong)(kong)氣(qi)(qi)與(yu)測(ce)量區(qu)域壓力(li)之間的(de)壓力(li)差后(hou)，可以直接計算出空(kong)(kong) 氣(qi)(qi)速度(du)。粒子速度(du)通(tong)過兩個激光(guang)束之間的(de)飛行(xing)時(shi)(shi)間來測(ce)量。的(de)時(shi)(shi)間
飛行設備(bei)應測量高達(da)20 |jm的(de)(de)顆粒(li)的(de)(de)空氣動力學直(zhi)徑。樣品采(cai)集程(cheng)序(xu)與(yu)使(shi)用LSAPC測量大顆粒(li)時(shi)所需的(de)(de)程(cheng)序(xu)相(xiang)同。此外(wai)，該設備(bei)使(shi)用與(yu)LSAPC 相(xiang)同的(de)(de)程(cheng)序(xu)來確定要(yao)報告(gao)的(de)(de)粒(li)徑范圍。
C.4.2大粒(li)(li)子測量與粒(li)(li)子收(shou)集
C.4.2.1 總則
可以(yi)通(tong)過從(cong)空氣中收集(ji)(ji)顆(ke)粒(li)(li)來(lai)測量(liang)大顆(ke)粒(li)(li)。空氣樣本(ben)以(yi)特(te)定(ding)的流速(su)通(tong)過收集(ji)(ji)設備傳輸(shu)。顯微鏡分析用于對收集(ji)(ji)到的顆(ke)粒(li)(li)進(jin)行(xing)計數。
注:也(ye)可以(yi)確定收(shou)集到的顆粒的質量，但(dan)由于(yu)空氣潔凈度是(shi)由數量濃度決(jue)定的，因此(ci)ISO 14644的這一部分沒(mei)有(you)涉及(ji)。
C.4.2.2過濾收集和顯微測量
選擇(ze)膜過(guo)濾(lv)器(qi)和支架或預(yu)組裝(zhuang)的(de)(de)氣(qi)(qi)溶膠監(jian)測(ce)器(qi)；應使(shi)用孔徑(jing)為2 ym或更小的(de)(de)膜。標(biao)記過(guo)濾(lv)器(qi)支架以(yi)識別過(guo)濾(lv)器(qi)支架的(de)(de)位(wei)置和安裝(zhuang)。將出(chu)口連接到 真空(kong)(kong)源，真空(kong)(kong)源將以(yi)所需(xu)的(de)(de)流(liu)速(su)抽取空(kong)(kong)氣(qi)(qi)。如果要測(ce)定大顆粒濃度的(de)(de)采樣位(wei)置是單(dan)向流(liu)動區(qu)域(yu)，則應確定流(liu)速(su)以(yi)允許等速(su)采樣進入過(guo)濾(lv)器(qi)支架或氣(qi)(qi) 溶膠監(jian)測(ce)器(qi)入口，并且(qie)入口應朝向單(dan)向流(liu)。
使用(yong)公式（C.1）確定所需的(de)樣品體積。
從膜過(guo)濾(lv)器(qi)支(zhi)架(jia)或氣(qi)溶(rong)膠監測器(qi)上取下蓋子，并存放在干凈的地方(fang)。
在客戶(hu)和供(gong)應(ying)商協(xie)議(yi)確定的(de)采樣點對空氣(qi)進行采樣。如果使用便攜式(shi)真空泵(beng)通過(guo)膜過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)抽取空氣(qi)，則該泵(beng)的(de)廢(fei)氣(qi)應(ying)排(pai)(pai)放(fang)到潔(jie)凈(jing)裝置外或通過(guo)合適 的(de)過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)排(pai)(pai)放(fang)。樣品(pin)收集(ji)完成后，更換過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)支架或氣(qi)溶膠監測器(qi)(qi)上的(de)蓋子。樣品(pin)架的(de)運(yun)輸方式(shi)應(ying)使濾(lv)膜始終保持水平位置，并(bing)且在采集(ji)樣品(pin)和分 析(xi)樣品(pin)之間不會受(shou)到振動(dong)或沖擊。計算過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)表(biao)面(mian)的(de)顆粒(li)數（參(can)見A STM F312-08）。⑶
C.4.2.3級聯撞擊器采集與(yu)測量
在級聯(lian)沖擊器中，顆(ke)粒(li)(li)(li)分離是通過顆(ke)粒(li)(li)(li)的(de)慣性沖擊進行的(de)。采樣氣流(liu)通過一系列孔口尺寸遞減的(de)射流(liu)。較(jiao)大的(de)顆(ke)粒(li)(li)(li)直(zhi)(zhi)(zhi)接沉(chen)積在較(jiao)大的(de)孔下方(fang)，較(jiao)小 的(de)顆(ke)粒(li)(li)(li)沉(chen)積在沖擊器的(de)每個連(lian)續階段。空氣動力學直(zhi)(zhi)(zhi)徑與沖擊器流(liu)動路徑中的(de)區域顆(ke)粒(li)(li)(li)收集直(zhi)(zhi)(zhi)接相關。
為了通過顆(ke)粒濃度(du)測量(liang)空(kong)氣(qi)清潔度(du)，可以(yi)使(shi)用(yong)一(yi)(yi)種用(yong)于收(shou)集和計數(shu)大(da)顆(ke)粒的級(ji)聯(lian)沖擊(ji)器。在(zai)這一(yi)(yi)個中，顆(ke)粒沉積在(zai)可移(yi)動(dong)板的表(biao)面上(shang)，這些板被(bei)移(yi)除 以(yi)進行隨后(hou)的顯微鏡檢查。此類(lei)級(ji)聯(lian)沖擊(ji)器通常使(shi)用(yong)0.47升/秒或更高(gao)的采樣流(liu)速。
- C. ；5大粒子計數程序
確定“ISO M （a b）” c”選定粒度范圍內的描述符濃度，由客戶(hu)和供應商(shang)商(shang)定，并報告數據。
在(zai)每個采樣點採樣一定體積的(de)空(kong)氣(qi)，足(zu)以在(zai)確定的(de)濃度限值下檢測到至少20個選定粒徑(jing)的(de)顆粒。
ISO 14644-l:2015(E)
每個采樣(yang)點的單次(ci)采樣(yang)體積(ji)Vs由公式(shi)（C.1）確定：
20 比(bi)=—— 1000
納米
C ?
在哪里
比 是每個位置的小單個樣品體積，以升表示（見D.4.2除外）；
Cn.m是為(wei)相關等(deng)級(ji)指定的較大(da)考慮粒徑的等(deng)級(ji)限制（每立方米的粒子數）；
20是如果粒(li)子濃度在
等級限制。
如(ru)果需要有關(guan)大顆粒濃度穩定性(xing)的信息，請按客戶和供應商(shang)商(shang)定的時間間隔在選(xuan)定位置進行三次或更多次測量(liang)。
設置(zhi)所選(xuan)儀器的進樣探頭并進行測試。
C.6大(da)粒子(zi)采(cai)樣(yang)試驗(yan)報告(gao)
應記(ji)錄下列試驗信息(xi)和數據：
a） 儀器響(xiang)應的顆粒(li)大小(xiao)的定義；
b） 測量方法；
c） 作為ISO等級(ji)的附件的M描述符級(ji)別或限(xian)制(zhi)的測量方法；
d） 使用的每臺測量儀器和設(she)備的型號(hao)名稱及其校準狀態；
e） 安裝的￡0等(deng)級；
f） 大顆粒尺(chi)寸(cun)范圍和報(bao)告(gao)的每個尺(chi)寸(cun)范圍的計(ji)數；
g） 儀器入口樣(yang)品流量(liang)和通過傳(chuan)感體積的流量(liang)；
h） 采樣點；
i） 用于分類的抽樣(yang)計(ji)劃或(huo)用于測試的抽樣(yang)協議計(ji)劃；
j） 占用狀態；
k） 大粒子濃度(du)穩定性(xing)等其他測量(liang)相(xiang)關數據。
C.7調整(zheng)大粒(li)子描(miao)述符以考慮(lv)ISO 5級潔凈室的N 5 粒(li)子尺寸
為了表示基(ji)于(yu)使用LSAPC的(de)粒徑范(fan)圍＞5nm的(de)空氣中(zhong)29個顆粒/立(li)方(fang)米的(de)濃(nong)度，名稱將是(shi)“ISO M （29 2 5 um）； ；LSAPC”；，對(dui)于(yu)20個粒子/立(li)方(fang)米，名稱將是(shi)“ISOM（20；》5um）； ；LSAPC”（見表1，注釋f）。
附錄D （資料性）
順序采樣程序
- D. ；1背景和限制
D.1.1背景
在(zai)某(mou)些情況下，有必要(yao)或(huo)要(yao)求(qiu)對(dui)顆粒濃度(du)特別低的(de)清潔受控環境進行分(fen)類(lei)，順序(xu)采(cai)樣(yang)(yang)是一種有用的(de)技術，可(ke)以(yi)減少樣(yang)(yang)品(pin)體(ti)積 和(he)采(cai)樣(yang)(yang)時間。順序(xu)抽樣(yang)(yang)技術測量(liang)計數率并預測通過或(huo)不滿足ISO等級要(yao)求(qiu)的(de)可(ke)能(neng)性。如果被(bei)采(cai)樣(yang)(yang)的(de)空氣比所考慮的(de)顆粒尺寸 的(de)指(zhi)定等級濃度(du)限制明顯更多(duo)或(huo)更少污(wu)染，則(ze)使用順序(xu)采(cai)樣(yang)(yang)程序(xu)可(ke)以(yi)減少采(cai)樣(yang)(yang)量(liang)和(he)采(cai)樣(yang)(yang)時間，通常(chang)會(hui)顯著減少。
當(dang)濃(nong)度接(jie)近指(zhi)定限度時(shi)，也可(ke)(ke)能(neng)實現一些節省。順序采樣(yang)(yang)適合ISO 4級(ji)或更清(qing)潔(jie)的空氣清(qing)潔(jie)度。當(dang)所(suo)選粒徑的限制較低時(shi)， 它也可(ke)(ke)用于其他類別。在這不申(shen)I胄況下，所(suo)需的樣(yang)(yang)本量可(ke)(ke)能(neng)對(dui)于檢測(ce)20個預期(qi)計數來說太高了。
注有(you)關(guan)順(shun)序采樣的更(geng)多信息，請參閱IEST-G-CC1004[4]或JIS B 9920:2002。⑸
D.1.2限制
順序抽樣(yang)的主要限制是
a） 該程序僅適用于(yu)較(jiao)大樣本的單個樣本的預期計數＜ 20的情況(kuang)
粒度（見A.4.4） ，
b） 每個樣(yang)品測量都需(xu)要補充(chong)監測和數據分析(xi)，這可(ke)以是(shi)
通過(guo)計算機化(hua)自(zi)動化(hua)促進，和
c） 顆粒(li)濃度的確定(ding)不如傳統采樣程序那樣
由于樣本量減少。
- D. ；2程序的基礎
該程序(xu)基于(yu)實時累積粒子計(ji)數(shu)與參考計(ji)數(shu)值的比較。參考值來自上限和下限邊界的公式：
上限：Cfail = 3，96 +1，03 E （D.1）
下(xia)限：Cpass=-3，96 +1，03 E （D.2）
在哪里
Cfail是觀察計數(shu)的上(shang)限(xian)；
Cpass是觀察(cha)計數的(de)下限；
E是期(qi)望計數（由公式（D.5）表示，類別限制）。
ISO 1464牛 l:2015(E)
根據公式（A.2），單次樣品體積Vs計算如(ru)下:
20
在(zai)廠—— I。。。 （D.3）
c彎
在哪里
比 是每個位置(zhi)的＜1 ‘；單個樣品體(ti)積(ji)，以升表示；
Cn，m是為相關等(deng)級(ji)(ji)指定(ding)的考慮粒(li)徑(jing)的等(deng)級(ji)(ji)限制（每立方(fang)米的粒(li)子數）；
20是定義的(de)粒(li)子數，如果粒(li)子濃度為 等級限制。
總采(cai)樣(yang)時間tt計算如下：
t =電壓
J —
問
在哪里
Vs為(wei)累計取(qu)樣體積（升(sheng)）；
Q為粒子計(ji)數(shu)器(qi)的(de)采樣流(liu)量（升/秒）。
預期計數定義如下：
和=Qfg
1000
在哪里
噸是采(cai)樣時(shi)間（以秒為單位）。
為幫(bang)助理解，圖D.1提供了順序采(cai)樣(yang)(yang)程序的圖形(xing)說明。當(dang)在每個指定(ding)的采(cai)樣(yang)(yang)點對空氣進(jin)行采(cai)樣(yang)(yang)時，運行的總粒(li)子數(shu)(shu)將不斷與(yu)已采(cai)樣(yang)(yang)的規(gui)定(ding)總體(ti)積(ji) 比(bi)例(li)的預期(qi)it數(shu)(shu)進(jin)行比(bi)較。如果運行總計(ji)(ji)數(shu)(shu)小(xiao)于(yu)預期(qi)計(ji)(ji)數(shu)(shu)對應的下限Cpass，則發(fa)現被采(cai)樣(yang)(yang)的空氣符合規(gui)定(ding)的等級或濃(nong)度限制，并停止采(cai)樣(yang)(yang)。
如果運行計數超過預期計數對應的上限Cfail，則被采樣的空氣不符合規定的等級或濃度限值，采樣停止。只要運行計數保持在上限和下限之間， 采樣就會繼續，直到觀察到的計數變為20或累積樣本體積V等于＜1、單次樣本體積Vs，此時預期計數變為20o
在圖FH中，繪制了觀察到的計數C與預期計數E的關系圖，直到采樣停止或計數達到20o
- D. ；3抽樣程序
圖8璇(xuan)明工公(gong)式（D.1）和（D.2）中建立的(de)邊界，被E = 20的(de)限制截斷，代表收集完整樣本(ben)所需的(de)時間，C二(er)20，觀察(cha)到的(de)較大值允許計數。
1 2
Key
x預(yu)期計(ji)數，Ey觀(guan)察計(ji)
數，Cl停止計數，FAIL (C
> 3，96 + 1}O3E) 2連續計(ji)數3停止(zhi)計(ji)數，PASS (C
W -3，96 + l，03E)
圖(tu)D.l連(lian)續抽(chou)樣程序通過或失敗(bai)的界限
觀察到(dao)的計數與空氣(qi)中顆粒(li)濃度(du)恰好在(zai)指(zhi)定級別的預(yu)期計數相對應(ying)。時間的流逝(shi)對應(ying)于預(yu)期計數的增加，E二20表示如果粒(li)子累積(ji)完整(zheng)樣(yang)本體 積(ji)所需(xu)的時間
濃度均在班級限值。
使(shi)用圖D.1進行(xing)順序(xu)采樣(yang)的程序(xu)如下：
1） 記錄計數(shu)的粒子總(zong)數(shu)隨(sui)時間的變(bian)化；
2） 按照(zhao)D.2中公式（D.5）所述的程序計(ji)算預期計(ji)數 一
3） 繪制總計數與預(yu)期計數的關系(xi)圖(tu)，如圖(tu)D.1所示；
4） 將計數與圖D.1的上下限(xian)線進行比較；
5） 如果累計觀察計數越(yue)過(guo)上線(xian)，則(ze)停(ting)止該位置的采(cai)樣(yang)，并
據報告(gao)空氣不(bu)符合規定的等級限制；
6） 如果(guo)累計觀測計數越過下線，則停(ting)止采樣，空氣符合規定的等級(ji)限值；
7） 如(ru)果累計觀察計數保持在(zai)上下(xia)線之(zhi)間，則(ze)繼續(xu)采樣。
如果(guo)在規定(ding)的采樣(yang)周(zhou)期結束時總(zong)計(ji)數為(wei)20或(huo)更少且未(wei)超過(guo)上線(xian)，則(ze)空氣被判斷(duan)為(wei)符合等級限制。
D.4順序抽(chou)樣的例子
D.4.1示例1
a）通(tong)過順序采(cai)樣程(cheng)序評(ping)估潔凈室(shi)的目(mu)標(biao)空氣潔凈度(du)為ISO 3級(ji)（0.1 kimJOOO個顆(ke)粒/立方米）。此過程(cheng)著眼(yan)于計數率并試圖(tu)預測(ce)可能的通(tong)過 或失(shi)敗。
ISO 14644-l:2015(E)
注(zhu):粒子(zi)計數器的(de)采樣流量為(wei)0.0283 m3/min (28.3 l/min或0.471/s)。
b)測量(liang)前的(de)準備極限值的(de)計算方法。
了計(ji)(ji)算(suan)(suan)結果(guo)。首(shou)先(xian)，預(yu)期計(ji)(ji)數(shu)是根(gen)據采(cai)樣(yang)時間計(ji)(ji)算(suan)(suan)的。接(jie)下(xia)來，使用公式(D.1)和(he)(D.2)或圖D.1計(ji)(ji)算(suan)(suan)上參考(kao)(kao)計(ji)(ji)數(shu) 和(he)下(xia)參考(kao)(kao)計(ji)(ji)數(shu)。
表D.1上下參考計(ji)數(shu)的計(ji)算表
| 測量時期 | 采樣時間(s) | 總采樣風量 | 預期計數觀察計數的上限 | ； | 觀察到的下限數數 |
| 噸 | 升 | 根據公式(D.5) | C失敗二3.96 + 1.03 電子 | Cpass =-3.96+ 1.03 ENA | |
| 第— | ； | 2，4 | 2，4 | 7 (6，4) | (-1.5) 0(0.9) |
| 第二名 | 10 | 4，7 | 4，7 | 9 ；(8，8) | 3 (3.3) |
| 第三名 | 15 | 7，1 | 7，1 | 12(11，2) | 5 (5.8) 8 |
| 第四名 | 20 | 9，4 | 9，4 | 14 (13，7) | (8.2) 10 |
| 5S | 25 | 11，8 | 11，8 | 17(16，1) | (10.6) |
| 6S | 30 | 14，2 | 14，1 | 19 (18，5) | 13 (13.0) |
| 7S | 35 | 16，5 | 16，5 | 20 (21，0) | ； |
| 8號 | 40 | 1&；9 | 1&；9 | 20 (23，4) | 15 (15，5) |
| 9號 | 45 | 21，2 | 21，2 | 21 | 20 |
| 注:括號內的數值為觀測計數上下限計算結果，到小數點后一位。但是，由于實際數據是整數值，因此在評估時將每個計算值作為所示的整 數值進行處理。觀察計數的上限四舍五入到計算值的第—個小數位。觀察計數的下限向下舍入到計算值的第—個小數位。當按公式(D.2)計算的Cpass為負值時，記為NA (不適用)。在這種情況下，即使觀察到的計數為零，我哋不能斷定空氣清潔度滿足目標ISO等級。 |
- 使用順序抽樣程序進行評估。
第—次測量(liang)中提供的(de)(de)(de)預期(qi)(qi)計(ji)(ji)數(shu)(shu)是2，4；當(dang)觀(guan)(guan)測計(ji)(ji)數(shu)(shu)大(da)于或(huo)等于7時(shi)判(pan)定(ding)(ding)為“FAIL”。但是，當(dang)本次采(cai)(cai)(cai)(cai)樣(yang)期(qi)(qi)間的(de)(de)(de)觀(guan)(guan)測計(ji)(ji)數(shu)(shu)在 0~6之(zhi)間時(shi)，無法判(pan)定(ding)(ding)結果。在這種情況下，繼(ji)續(xu)采(cai)(cai)(cai)(cai)樣(yang)。當(dang)繼(ji)續(xu)采(cai)(cai)(cai)(cai)樣(yang)時(shi)，累(lei)積(ji)觀(guan)(guan)察計(ji)(ji)數(shu)(shu)可能會增加。繼(ji)續(xu)采(cai)(cai)(cai)(cai)樣(yang)，直到(dao)(dao)達(da)到(dao)(dao)規定(ding)(ding)的(de)(de)(de) 單個樣(yang)本體積(ji)或(huo)觀(guan)(guan)察到(dao)(dao)的(de)(de)(de)計(ji)(ji)數(shu)(shu)分別越(yue)過Cpass或(huo)Cfail的(de)(de)(de)線之(zhi)一。如(ru)果在規定(ding)(ding)的(de)(de)(de)采(cai)(cai)(cai)(cai)樣(yang)周期(qi)(qi)結束時(shi)累(lei)計(ji)(ji)觀(guan)(guan)察計(ji)(ji)數(shu)(shu)為20或(huo)更 少且未超過上(shang)線，則空(kong)氣潔凈度等級被判(pan)定(ding)(ding)為“通(tong)過”。如(ru)果在達(da)到(dao)(dao)完整(zheng)采(cai)(cai)(cai)(cai)樣(yang)周期(qi)(qi)之(zhi)前(qian)，累(lei)計(ji)(ji)觀(guan)(guan)察計(ji)(ji)數(shu)(shu)小于或(huo)等于Cpass 的(de)(de)(de)向下舍入(ru)值(zhi)，則停止采(cai)(cai)(cai)(cai)樣(yang)并判(pan)斷分類為“PASS”。
D.4.2示例2
通過順序采(cai)樣程序評估潔凈(jing)室的目標空氣潔凈(jing)度為ISO 3級(ji)(0.5 nm ，35個顆(ke)粒/立方米)。粒子(zi)計數器(Q)的采(cai)樣流(liu)量(liang)為 0，0283 m3/min = 0，47 l/s。
按(an)式（D.3）計算(suan)單次樣品體(ti)積VS。
20 20
也(ye)二 ；100（X 二xl ；1000 571429 升
納米 35
C ‘；
根據(ju)公式(shi)（D.4）計算總(zong)采(cai)樣時(shi)(shi)間(jian)(jian)tt。這(zhe)是評(ping)估采(cai)樣位置所需的長(chang)時(shi)(shi)間(jian)(jian)。順序(xu)采(cai)樣程序(xu)應縮短此(ci)時(shi)(shi)間(jian)(jian)。
在夕
備==—5 1211，2 米P 19 英寸(cun)
問
計算結果表：
D根據公式（D.5）計(ji)算期(qi)望(wang)計(ji)數(shu)E；
Q ft n m >；
和二
1000
2） 根(gen)據(ju)公式（D.l）ffl（D.2）計(ji)(ji)算(suan)觀察計(ji)(ji)數的上(shang)下限；
3） 計(ji)算(suan)結果見表D.2和圖D.2。
表(biao)D.2總(zong)樣氣量、預期計(ji)數(shu)、上限和下限的計(ji)算結果
| 噸（分鐘） | 噸（小） | 總采樣風量，QXt | 預期計數，和 | 限制 | |
| 卜部，失敗5 （5.0） | 較?（吊丁 CMA | ||||
| ； | 60 | 2&；3 | 1，0 | ； | (-2.9) |
| 2-t- | 120 | 56，6 | 2，0 | 7 (6，0) | 不適用（-1.9） |
| 3-r | 180 | 84，9 | 3，0 | 8億0) | 不適用（-0.9） |
| 4個 | 240 | 113，2 | 4，0 | 9 (8.0) | 0(0.1) |
| st | 300 | 141，5 | 5，0 | 10(9.1) | i(i.n |
| 6午 | 360 | 169，8 | 5，9 | 11 (10，1) | 2 22) 3 |
| 7 | 420 | 198，1 | 6，9 | 12 (11.1) | 區2) 4 |
| 齡 | 480 | 226，4 | 7，9 | 13 (12，1) | (4，2) |
| 9 | 540 | 254，7 | 8，9 | 14(13，1) | 5 (5，2) 6 |
| 10 | 600 | 283，0 | 9，9 | 15 (14.2) | 62) 7 |
| 11 | 660 | 311，3 | 10，9 | 16 (15.2) | (7.3) 8 |
| 12 | 720 | 339，6 | 11，9 | 17 (16，2) | (8.3) |
| 13 | 780 | 367，9 | 12，9 | 18 (17，2) | 9 (9，3) |
| 14 | 840 | 396，2 | 13，9 | 19 (18.2) | 10 (103 |
| 15 | 900 | 424，5 | 14，9 | 20 (19.3) | U (11.3) |
| 16 | 960 | 452，8 | 15，8 | 20 (20，3) | 12 (12 ⑷ |
| 17 | 1 020 | 481，1 | 16，8 | 20 (21.引 | 13 (13.4) |
| 18 | 1080 | 509，4 | 17，8 | 20 (22.3) | 14 (14.4) |
| 19 | 1 140 | 537，7 | 1&；8 | 20 (23.3) | 15 (15.4) |
| 20 | 1200 | 566，0 | 19，8 | 20 (24.4) | 16 (16.4) |
| 20.19 = TT | 1211，5 | 571，429 = VS | 20 | 21 | 20 |
在圖』2孔繪制了觀測計數(shu)的上限(xian)和下(xia)限(xian)與計數(shu)采集時間的關系圖。每個垂(chui)直條以1分鐘的間隔顯示限(xian)制（上限(xian)和下(xia)限(xian)）。
ISO 14644-l:2015(E)
鑰匙
X 計數(shu)時訶（分鐘）計數(shu)限(xian)
ffl 值（粒子）觀察計數上限觀察計
數下限
圖(tu)D.2順(shun)序采樣(yang)通過或失敗(bai)邊界的圖(tu)形表示 比較(jiao)累(lei)積(ji)觀(guan)察計數和上下(xia)限并(bing)應用程(cheng)序 在D.3中(zhong)描述。一
a）失敗情況，見表D.3。
表D.3連續采樣粒子計數示例
| t （分鐘）t | （秒） | 預期計數，E | 累計觀察計數的限制 | 觀察到的 數數在間隔期間 | 累積觀察計數，c | 結果 | |
| 上限，Cf日il下限，C | >；ass | ||||||
| IT | 60 | 1，0 | ； | 那 | 2-t- | 2-t- | 繼續 |
| 2-t- | 120 | 2，0 | 7 | 那 | 3-r | ； | 繼續 |
| 3-r | 180 | 3，0 | 8個 | 那 | IT | 6午 | 繼續 |
| 4個 | 240 | 4，0 | 9 | 0 | 0 | 6午 | 繼續 |
| ； | 300 | 5，0 | 10 | 1T | 5-t- | 11 | 失敗 |
第—次(ci)測量中提供的預期計(ji)數(shu)(shu)為(wei)1，0；累(lei)(lei)計(ji)觀(guan)(guan)察次(ci)數(shu)(shu)大于(yu)等于(yu)5時判(pan)斷為(wei)“FAIL”。但累(lei)(lei)計(ji)觀(guan)(guan)察次(ci)數(shu)(shu)在(zai)0~5之(zhi)間時，則不(bu)能 判(pan)斷。在(zai)本示例(li)中必須繼續采樣(yang)(yang)擋繼續采樣(yang)(yang)時，累(lei)(lei)積(ji)觀(guan)(guan)察計(ji)數(shu)(shu)會增(zeng)加。不(bu)過很容易判(pan)斷，因為(wei)期望(wang)計(ji)數(shu)(shu)和弓I用(yong)計(ji)數(shu)(shu)都增(zeng)加 了。在(zai)第5次(ci)測量（t = 300秒）中，累(lei)(lei)計(ji)觀(guan)(guan)察計(ji)數(shu)(shu)為(wei)11，超過上限（10） o
然后判斷為“FAIL” o
b）通過情況(kuang)見表D.4。
表D.4連續采(cai)樣粒子計(ji)數示例
| 噸（分鐘） | 噸〈秒） | 預期計數，E | 累計觀察計數的限制 | 間隔期間觀察到的計數 | 累積觀察計數，C | 結果 | |
| 上限，Cfail下限， | Cpass | ||||||
| ； | 60 | 1.0 | ； | 那 | 0 | 0 | 繼續 |
| 2-t- | 120 | 2.0 | 7 | 那 | 0 | 0 | 繼續 |
| if | 180 | 3.0 | 8個 | 那 | 0 | 0 | 繼續 |
| 4個 | 240 | 4.0 | 9 | 0 | 0 | 0 | 經過 |
第—次測(ce)量時(shi)(shi)提供的預期計(ji)數(shu)(shu)為1，0，累計(ji)觀察計(ji)數(shu)(shu)大于等于5時(shi)(shi)判(pan)定(ding)為“FAIL”。但(dan)當觀察計(ji)數(shu)(shu)在(zai)(zai)0~5之間(jian)時(shi)(shi)，則(ze)無(wu)法判(pan) 斷(duan)(duan)。在(zai)(zai)本示例中，繼(ji)續采樣(yang)，但(dan)累積(ji)觀察計(ji)數(shu)(shu)不增加。在(zai)(zai)第4次測(ce)量（t = 240秒）中，累計(ji)觀察計(ji)數(shu)(shu)為0，等于下限（0）。然后 判(pan)斷(duan)(duan)為“PASS” o
ISO 14644-l:2015(E)
附錄E (資料性)
中間(jian)十進制清(qing)潔度等級和粒徑閾值(zhi)的規(gui)范(fan)
E.1中級十進制(zhi)清潔度等級
如(ru)果需(xu)要中(zhong)間十進(jin)位清(qing)潔度等(deng)級，則(ze)應使用表(biao)E.lo
表(biao)EU1供了(le)允許的(de)中間(jian)十(shi)進(jin)制(zhi)空(kong)氣潔凈度等級。與粒(li)子測量(liang)相關的(de)不確定性使得小于0.5的(de)增量(liang)是不合適的(de)，并且 表(biao)下方的(de)注釋標識了(le)由于采(cai)樣和粒(li)子收集限(xian)制(zhi)弓(gong)起的(de)限(xian)制(zhi)。
表E.1按顆(ke)粒(li)濃度分類的中(zhong)間十(shi)進位空氣潔凈度等(deng)級
| ； | 粒子濃度(粒子/立方米)a | |||||
| ISO等級編號(N) | 0，1 | 0，2 | 0，3 | 0，5 | 1，0 | 5，0 |
| ISO等級1，5 | [32] b | d | d | d | d | ； |
| ISO等級2，5 | 316 | [75] b | [32] b | d | d | ； |
| ISO等級3，5 | 3 160 | 748 | 322 | 111 | d | ； |
| ISO等級4，5 | 31 600 | 7 480 | 3 220 | 1 110 | 263 | ； |
| ISO等級5，5 | 316 000 | 74 800 | 32 200 | 11 100 | 2 630 | ； |
| ISO等級6，5 | 3 160 000 | 748 000 | 322 000 | 111000 | 26 300 | 925 |
| ISO等級7，5 | c | c | c | 1 110 000 | 263 000 | 9 250 |
| ISO 等級 8，5f | c | c | C | 11 100 000 | 2 630 000 | 92 500 |
| a 表中的所有濃度都是累積的，例如，對于ISO等級5，5，0，5 |im處顯示的11100個顆粒包括所有等于和大于該尺寸的顆粒。b這些濃度將導致用于分類的大量空氣樣本。見附件D，順序取樣程序。C由于顆粒濃度特別高，濃度限值不適用于表中的這個區域。d低濃度顆粒的采樣和統計限制吏分類不合適。e由于采樣系統中潛在的粒子損失，低濃度和尺寸大于1 口m的粒子的樣本收集限制使得分類不合適。f該等級僅適用于運行狀態。 |
- E. ；2中間粒徑
如果任何整數級(ji)(ji)或小數級(ji)(ji)都需要中間粒(li)徑，則可以使用(yong)公式（E.1）來(lai)確(que)定所考慮粒(li)徑的(de)較大顆(ke)粒(li)濃度：
2 08
cn ；X1°N ；= – ‘ （E.l）
D
在哪里
Cn是(shi)等于(yu)和大于(yu)所考慮(lv)粒徑的空氣懸浮顆(ke)粒的較大允許濃度（每立(li)方米(mi)顆(ke)粒數）。Cn四舍五入到接近的整(zheng)數，使用不(bu)超過(guo) 三位有效數字(zi)；
N為I SO等(deng)級編號，不得超過9或” ‘；于1 ；
D是表1中未列出的(de)所考慮的(de)粒徑，單位(wei)為微米；
K是(shi)常(chang)數0，1，以(yi)微米表示(shi)。
ISO 1464牛(niu) l:2015(E)
附錄F （資料性）
測試儀器
F.1簡介
本附(fu)錄描述了用(yong)于附(fu)錄A、C和D中推薦(jian)測(ce)試的測(ce)量儀器。
在(zai)本附錄(lu)中(zhong)，表F.1和F.2中(zhong)給(gei)出的數據表明(ming)H每(mei)項(xiang)設(she)備(bei)的必(bi)要要求(qiu)。應根據客戶和供應商之間的協議選(xuan)擇測量設(she)備(bei)。
本附錄(lu)僅供(gong)參考(kao)，不應妨礙改(gai)進設備的(de)使用。
替代測試設備可(ke)能(neng)是合適的(de)，并且可(ke)以根據客戶和供應商(shang)之間的(de)協議使(shi)用(yong)。
F.2儀器規格
下列儀器應(ying)用(yong)于附件(jian)A、C和D中給(gei)出(chu)的推薦測試：
a） 光(guang)散射（離(li)散）氣載粒子計數器（LSAPC）；
注LSAPC的(de)規(gui)范在(zai)ISO 21501-4:2007中(zhong)給出。[1]
b） 離(li)散大粒子計數(shu)器；
c） 飛行時碗度儀(yi)；
d） 濾紙上收集的顆粒的顯微測量。參見ASTM F312-8O ；[3] 這些(xie)儀器的術(shu)語和定義在第(di)3節中給出(chu)。
表(biao)F.1離散大(da)粒子計數器的規(gui)范
| 物品 | 規格小可檢測 |
| 測量極限 | 尺寸應在5至80 pm范圍內，并適合所考慮的顆粒尺寸和儀器能力。LSAPC的較大粒子數濃度應等 于或高于所考慮粒子的較大預期濃度 |
| 解決 | 制造商指定尺寸的校準顆粒為20 % |
| 指定尺寸設置下的粒子計數的較大允 | 許誤差為20% |
表(biao)F.2飛(fei)行時間粒(li)度儀(yi)的(de)規范
| 物品 | 規格 |
| 測量極限 | 粒徑0.5至20 um；顆粒濃度1.0 X 103/m3至1.0 X 108/m3空氣動力學直徑：1.0 |
| 解決 | Um時為0.02 nm； ；10微米時為0.03微米 |
| 較大允許誤差丄0 % of full readir | Jg |
參考書目
[1] ISO 21501-4:2007，粒(li)度分布的(de)測(ce)定(ding) 單粒(li)子(zi)光(guang)相互作(zuo)用(yong)法 第4部分:用(yong)于(yu)潔凈空間的(de)光(guang)散(san)射氣(qi)載粒(li)子(zi)計(ji)數器
[2] ASTM F312-08繳觀(guan)尺寸(cun)和計數顆粒的(de)標(biao)準測(ce)試方(fang)法(fa) 膜過濾器上的(de)航(hang)空航(hang)天流(liu)體(ti)。ASTM國際
⑶ IEST-G-CC1003。空氣中大粒子的測量。環境科學與技術研究所，伊利諾伊州阿靈頓高地，1999年
[4] IEST-G-CC1004。用(yong)于潔(jie)凈(jing)室和潔(jie)凈(jing)區空氣顆粒潔(jie)凈(jing)度分(fen)類的(de)順序采樣計劃。環(huan)境科學與(yu)技(ji)術研究(jiu)所(suo)，伊利諾伊州阿
靈(ling)頓高(gao)地，1999年
⑸ JIS B 9920:2002，潔凈室空氣潔凈度分類(lei)。日(ri)本(ben)標準(zhun)協會(hui)
ISO 14644-l:2015(E)